[发明专利]一种钯纳米颗粒离散薄膜检测氢气的方法

摘要

本发明公开了一种钯纳米颗粒离散薄膜检测氢气的方法，包括如下步骤：首先准备六氟乙酰丙酮钯（Ⅱ）、福尔马林、石英玻璃基底、高纯氮和碳支持膜；在真空环境下将六氟乙酰丙酮钯（Ⅱ）作为前驱体通入反应室，六氟乙酰丙酮钯（Ⅱ）作为前驱体与石英玻璃基底表面发生化学吸附和化学反应；福尔马林作为前驱体与已经结合在基底的六氟乙酰丙酮钯（Ⅱ）前驱体发生化学反应。本发明能有效提高传感薄膜对氢气的响应速率，并且能够有效避免纯钯在高浓度氢气中引起的相变现象，保证检测的准确性，解决了现有光纤氢气传感器中的钯钇合金薄膜容易被空气中氧气毒化，导致薄膜起泡开裂等引起零点漂移，影响了氢气检测准确性的问题。

主权项

1.一种钯纳米颗粒离散薄膜检测氢气的方法，其特征在于：包括如下步骤：（1）首先准备六氟乙酰丙酮钯（Ⅱ）、福尔马林、石英玻璃基底、高纯氮和碳支持膜；（2）在真空环境下将六氟乙酰丙酮钯（Ⅱ）作为前驱体通入反应室，六氟乙酰丙酮钯（Ⅱ）作为前驱体与石英玻璃基底表面发生化学吸附和化学反应，惰性气体将多余的前驱体和副产物清除；（3）在真空环境下将福尔马林作为前驱体通入反应室，福尔马林作为前驱体与已经结合在基底的六氟乙酰丙酮钯（Ⅱ）前驱体发生化学反应，再次用惰性气体将多余的前驱体和副产物清除出反应腔，最后在基底上沉积形成传感薄膜；（4）向薄膜中掺入钇元素后将引起10.42%晶格膨胀，使得氢原子更自由的进出材料晶格内部；（5）向薄膜中通入不同浓度的氢气，当氢气接触到钯时，被钯捕获并发生化学反应形成氢化钯使得原来纯钯纳米颗粒的光学性能发生改变，透射过传感薄膜的光强得到增强，通过光纤传感器测试平台测得此光强的改变并转换为电压信号。