[发明专利]基于二维压电材料薄膜的声表面波器件在审
| 申请号： | 201810388048.2 | 申请日： | 2018-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN110149102A | 公开（公告）日： | 2019-08-20 |
| 发明（设计）人： | 陈立博;其他发明人请求不公开姓名 | 申请（专利权）人： | 北京纳米能源与系统研究所 |
| 主分类号： | H03H3/10 | 分类号： | H03H3/10;H03H9/25;H03H9/02;H01L41/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100083 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于二维压电材料薄膜的声表面波器件，包括：基底；二维压电薄膜，位于基底之上；电极层，位于二维压电薄膜之上或者位于基底与二维压电薄膜之间，包括：叉指换能器及其匹配电路；其中，二维压电薄膜的材料为具有压电性的二维材料，其压电极化方向平行于该二维压电薄膜所在平面的方向。二维压电薄膜能够有效激发声表面波，并使得激发的声表面波的波速趋近于基底材料的声速，减小了声表面波器件的体积，可用于制备高频、宽带、低损、轻便化的声表面波器件。 | ||
| 搜索关键词： | 二维 压电薄膜 声表面波器件 基底 压电材料薄膜 声表面波 叉指换能器 二维材料 方向平行 基底材料 匹配电路 所在平面 压电极化 有效激发 电极层 压电性 轻便 波速 减小 可用 宽带 制备 激发 | ||
【主权项】：
1.一种基于二维压电材料薄膜的声表面波器件，包括：基底；二维压电薄膜，位于基底之上；以及电极层，位于二维压电薄膜之上，包括：叉指换能器及其匹配电路；其中，二维压电薄膜的材料为具有压电性的二维材料，该二维压电薄膜的压电极化方向平行于该二维压电薄膜所在平面的方向。
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