[发明专利]一种碳化硅衬底倒角用砂轮及其制备方法有效
| 申请号： | 201810389935.1 | 申请日： | 2018-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN108527174B | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 李国伟;韩欣;袁金云 | 申请（专利权）人： | 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司 |
| 主分类号： | B24D3/06 | 分类号： | B24D3/06;B24D7/00;B24D18/00 |
| 代理公司： | 41104 郑州联科专利事务所(普通合伙) | 代理人： | 时立新 |
| 地址： | 450001 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明属于碳化硅衬底加工技术领域，具体涉及一种用于2英寸及以上规格碳化硅衬底的倒角用砂轮及其制备方法。所述碳化硅衬底倒角用砂轮，包括基体和磨料层，所述磨料层包括以下重量份的原料：磨料20‑30份，金属结合剂56‑95份，添加剂1‑7份；所述添加剂是氯化钠、氯化钾、碳酸钠、碳酸钾中的一种或几种任意比例混合物。本发明的砂轮配方、加工工艺简单，操作简便；可对2英寸及以上尺寸的碳化硅衬底进行倒角加工，加工效果好，工件在高亮白光下目测无锯齿和崩口现象。 | ||
| 搜索关键词： | 碳化硅 衬底 砂轮 倒角 磨料层 制备 添加剂 氯化钠 氯化钾 锯齿 磨料 比例混合物 金属结合剂 衬底加工 倒角加工 砂轮配方 碳酸钾 碳酸钠 重量份 目测 白光 高亮 加工 | ||
【主权项】：
1.一种碳化硅衬底倒角用砂轮，包括基体和磨料层，其特征在于：所述砂轮用于2英寸和4英寸的碳化硅衬底倒角加工，所述磨料层由以下重量份的原料组成：磨料20-30份，金属结合剂56-95份，添加剂1-7份；所述添加剂是氯化钠、氯化钾、碳酸钠、碳酸钾中的一种或几种任意比例混合物；所述添加剂的粒径≤100μm；/n所述金属结合剂由以下重量份数的原料组成：铜粉30-50份，锡粉25-40份，铝粉1-5份；/n所述磨料为金刚石，金刚石目数是500-1500目；/n所述基体的制备材料为铝合金；/n所述碳化硅衬底倒角用砂轮的制备方法，包括如下步骤：/n1) 按比例取磨料层各原料，加入到充满保护性气氛的混料罐内并密封，混料均匀；/n2) 将步骤1) 所得的混合料加入到模具中，进行压制，压制压力为1000kg/cm
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