[发明专利]一种凹坑检查方法

摘要

本发明公开了一种凹坑检查系统，它由机架、CCD、激光器阵列、线路板和计算机组成。激光器阵列安装在机架下面的中央，两侧分别安装CCD。激光器阵列由个排成阵列的激光器组成。开启激光器阵列的所有激光器，在待检体的表面出现个阵列式排列的激光光斑。两个CCD同时拍摄光斑阵列的图像。利用CCD成像的特点可以确定照射在待检体上的光斑中心在测量坐标系中的位置及其最大深度，由此可确定待检体上有无凹坑，并在有凹坑的情况下确定凹坑中的点。通过寻求凹坑中点的边界，可以进一步确定凹坑的最小宽度以及波浪度。本发明的有益效果在于：1.无接触式测量，不损伤待检体表面；2.测量系统结构简单，造价低廉；3.引入三维测量坐标系，因此能够确定凹坑中点的位置，为获取其边界并求出凹坑最小宽度提供了可能。

主权项

1.一种凹坑检查系统，其特征在于：包括由机架(1)、CCD 1(2)、激光器阵列(3)、CCD 2(4)、线路板和计算机；激光器阵列(3)安装在机架(1)下面的中央，两侧分别安装CCD 1(2)和CCD 2(4)；激光器阵列(3)由n×n个排成阵列的激光器组成，CCD 1(2)和CCD 2(4)的像平面位于同一平面内，且对应的水平像素线在同一直线上。