[发明专利]具有缓冲能力的静电卡盘在审
| 申请号： | 201810390816.8 | 申请日： | 2018-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN110349898A | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 金炫进;朴乘范;金钟植 | 申请（专利权）人： | 阿普罗技术公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 彭丽丹;过晓东 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及具有优异的缓冲能力的静电卡盘，其能够防止衬底的损坏，因为由于PE(聚乙烯)泡沫材料的缓冲单元设置在聚酰亚胺材料的夹持单元的下方，缓冲能力和恢复力优异。静电卡盘包括用静电力支撑衬底的夹持单元；设置在夹持单元下方以支撑夹持单元的基板；以及由塑料泡沫系列材料制成的缓冲单元，所述缓冲单元设置在所述夹持单元和基板之间以防止由夹持单元支撑的衬底的损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 夹持单元 缓冲单元 缓冲能力 静电卡盘 衬底 基板 聚乙烯 聚酰亚胺材料 泡沫材料 塑料泡沫 系列材料 恢复力 静电力 支撑夹 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种具有优异缓冲能力的静电卡盘，所述静电卡盘包括：用于使用静电力支撑衬底的夹持单元；基板，所述基板设置在所述夹持单元下方以支撑该夹持单元；和由塑料泡沫系列材料制成的缓冲单元，所述缓冲单元设置在所述夹持单元和基板之间以防止由所述夹持单元支撑的所述衬底的损坏。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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