[发明专利]具有光滑反射壁的龙虾眼型成像元件及其制备方法有效
| 申请号： | 201810393342.2 | 申请日： | 2018-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN108615568B | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 薄铁柱;周东站;李庆;廉姣;王辰;蔡华;许阳蕾;刘辉 | 申请（专利权）人： | 中国建筑材料科学研究总院有限公司 |
| 主分类号： | G21K1/00 | 分类号： | G21K1/00;G21K1/06 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 王伟锋;刘铁生 |
| 地址： | 100024*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明是关于一种具有超光滑反射壁的龙虾眼型成像元件及其制备方法，其制备方法包括：将坯板进行清洁处理，酸蚀通孔，内表面清洁，化学抛光，脱水处理，热处理，得到具有超光滑反射壁的龙虾眼型成像元件。本申请通过对通孔和反射壁进行形貌调控，获得均方根粗糙度优于1.0nm的光滑反射壁结构，增加方孔反射壁的反射率，提高聚焦效率。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 光滑 反射 龙虾 成像 元件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种具有超光滑反射壁的龙虾眼型成像元件的制备方法，其特征在于，将坯板进行清洁处理，酸蚀通孔，内表面清洁，化学抛光，脱水处理，热处理，得到具有超光滑反射壁的龙虾眼型成像元件。
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