[发明专利]用于将显像剂分配至基板上的分配头在审
申请号: | 201810393371.9 | 申请日: | 2018-04-27 |
公开(公告)号: | CN109814343A | 公开(公告)日: | 2019-05-28 |
发明(设计)人: | 赵家峥;王忠诚;陈俊光 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/30 | 分类号: | G03F7/30 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 张福根;冯志云 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本公开提供一种用于将显像剂分配至基板上的分配头。分配头包括一壳体,配置用以接收显像剂。分配头还包括设置于壳体上的至少一液体出口。液体出口配置用以将显像剂喷洒在基板上的一长形区域上,且液体出口配置成沿着一分配方向喷洒显像剂,其中分配方向倾斜于基板的一法线方向且垂直于长形区域的一长轴方向。 | ||
搜索关键词: | 显像剂 分配头 基板 液体出口 长形区域 分配方向 壳体 喷洒 配置 法线方向 长轴 分配 垂直 | ||
【主权项】:
1.一种用于将一显像剂分配至一基板上的分配头,其特征在于,包括:一壳体,配置用以接收所述显像剂;以及至少一液体出口,设置于所述壳体上,其中所述液体出口配置用以将所述显像剂喷洒在所述基板上的一长形区域上,且所述液体出口配置用以沿着一分配方向喷洒所述显像剂,所述分配方向相对于所述基板的一法线方向呈倾斜且垂直于所述长形区域的一长轴方向。
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