[发明专利]压力传感器的性能测试方法在审
| 申请号： | 201810394486.X | 申请日： | 2018-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN108716963A | 公开（公告）日： | 2018-10-30 |
| 发明（设计）人： | 孙振国 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L27/00 | 分类号： | G01L27/00 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 陈英俊;杨桦 |
| 地址： | 261031 山东省潍*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供一种压力传感器的性能测试方法，包括：通过控制密封测试腔体内的温度和压力对放置在密封测试腔体内的待测压力传感器进行单点压力测试，确定待测压力传感器的绝对压力精度是否合格；在密封测试腔体内的预设温度下，对单点压力测试后的绝对压力精度合格的待测压力传感器进行预设压力点的升降压测试，确定待测压力传感器在升降压测试后的绝对压力精度是否合格。利用本发明，能够解决由于压力传感器的压力芯片不良导致的压力测试不准确的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 密封测试腔 绝对压力 测试 单点压力 性能测试 体内 升降压 压力测试 压力芯片 预设压力 预设 | ||
【主权项】：
1.一种压力传感器的性能测试方法，包括；通过控制密封测试腔体内的温度和压力对放置在所述密封测试腔体内的待测压力传感器进行单点压力测试，确定所述待测压力传感器的绝对压力精度是否合格；在所述密封测试腔体内的预设温度下，对单点压力测试后的绝对压力精度合格的待测压力传感器进行预设压力点的升降压测试，确定所述待测压力传感器在升降压测试后的绝对压力精度是否合格。
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