[发明专利]真空镀膜生产线有效
| 申请号： | 201810396260.3 | 申请日： | 2018-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN108300971B | 公开（公告）日： | 2019-02-22 |
| 发明（设计）人： | 曾德强;华秀菊;陈华强;田由元 | 申请（专利权）人： | 深圳市正和忠信股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50 |
| 代理公司： | 深圳智趣知识产权代理事务所(普通合伙) 44486 | 代理人： | 崔艳峥 |
| 地址： | 518100 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了真空镀膜生产线，包括PVD滚镀装置、室外机器人和货架区，PVD滚镀装置包括镀膜室和设备室，室外机器人能够集搬运工件及操作PVD滚镀装置两种功能于一体，智能化程度高，而且在实现智能化的过程中减少了机器人种类和数量，成本更低。而且，PVD滚镀装置内不再需要给小尺寸的工件制作夹具或者挂具，也不再需要对小尺寸工件进行装夹，可直接将大量的小尺寸工件放置在托盘内进行真空镀膜，不仅成本低，而且效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 滚镀装置 真空镀膜生产线 机器人 小尺寸工件 智能化 室外 夹具 托盘 搬运工件 真空镀膜 镀膜室 货架区 设备室 挂具 装夹 制作 | ||
【主权项】：
1.一种真空镀膜生产线，其特征在于，包括PVD滚镀装置、室外机器人和货架区，所述室外机器人包括机器人本体、轮组、导航组件和仿生手臂组件，所述机器人本体呈箱体结构，所述仿生手臂组件包括第一仿生手臂和第二仿生手臂，所述第一仿生手臂和所述第二仿生手臂设置在所述机器人本体的顶部，所述第一仿生手臂的前端配置有第一机械手，所述第二仿生手臂的前端配置有第二机械手；所述PVD滚镀装置包括镀膜室，所述镀膜室内设置有磁控靶组件、第一托盘、第二托盘、机械臂、主轴和多个下升降支撑柱，所述第一托盘和所述第二托盘被配置为能相互扣合并锁紧，所述第一托盘与所述主轴可拆卸连接并能随所述主轴转动，所述机械臂的尾端固定于所述镀膜室的侧壁，所述机械臂的首端被配置为能够抓起并移动所述第一托盘和所述第二托盘；所述机器人本体的顶部被配置能够放置所述第一托盘。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市正和忠信股份有限公司，未经深圳市正和忠信股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810396260.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
