[发明专利]制备蓝宝石晶体的改进的泡生法及晶体生长炉有效
申请号: | 201810398227.4 | 申请日: | 2018-04-28 |
公开(公告)号: | CN108588832B | 公开(公告)日: | 2021-09-24 |
发明(设计)人: | 徐永亮;白伟;陈程;姜恒;于海群 | 申请(专利权)人: | 内蒙古恒嘉晶体材料有限公司 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B17/00 |
代理公司: | 北京弘权知识产权代理有限公司 11363 | 代理人: | 逯长明;许伟群 |
地址: | 015100 内蒙古自治区巴彦淖尔*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本发明实施例提供一种制备蓝宝石晶体的改进的泡生法及实施该方法的晶体生长炉,该方法包括以下步骤:(a)将晶体生长炉内抽真空,加热使所述晶体生长炉内坩埚中的氧化铝原料熔化,得到熔体;(b)往所述晶体生长炉内充入惰性气体,维持炉内压力为0.1‑100Pa;(c)在压力为0.1‑100Pa的所述惰性气体氛围下,将蓝宝石籽晶放置于所述熔体的液面以下,进行引晶、扩肩生长、等径生长和收尾生长;(d)晶体生长完成后进行退火处理,得到蓝宝石晶体。采用上述技术方案中的改进的泡生法,可以减少热场中钨/钼材料的零部件的升华损耗,减少氧化铝熔体的蒸发,从而延长热场中钨/钼材料的零部件的使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 制备 蓝宝石 晶体 改进 泡生法 晶体生长 | ||
【主权项】:
1.一种制备蓝宝石晶体的改进的泡生法,其特征在于,包括以下步骤:(a)将晶体生长炉内抽真空,加热使所述晶体生长炉内坩埚中的氧化铝原料熔化,得到熔体;(b)往所述晶体生长炉内充入惰性气体,维持炉内压力为0.1‑100Pa;(c)在压力为0.1‑100Pa的所述惰性气体氛围下,将蓝宝石籽晶放置于所述熔体的液面以下,进行引晶、扩肩生长、等径生长和收尾生长;(d)晶体生长完成后进行退火处理,得到蓝宝石晶体。
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