[发明专利]基板清洗设备

摘要

本发明提供一种基板清洗设备，通过设置框形的分隔构件在直接水洗室内划分出直接水洗区域和过渡水洗区域，并在直接水洗室的直接水洗区域底部和过渡水洗区域底部分别设置第一回收孔和第二回收孔来对已使用过的清洗水进行回收，可将直接水洗室内已使用过的清洗水分成光阻及异物浓度高和低的两部分，并可选择性地分开回收使用，纯度高的清洗水会从第一回收孔直接进入直接水循环水箱，而光阻及杂质浓度高的清洗水则可通过第二回收孔有选择性的回收到直接水循环水箱或置换水循环水箱，从而可有效提高过滤器的使用寿命，进而提高设备的嫁动率，降低产线生产成本。

主权项

1.一种基板清洗设备，其特征在于，包括水洗处理室(1)、传送机构(2)及清洗水供给机构(3)；其中，所述水洗处理室(1)包括在基板(5)传送方向上依次并列排布的置换水洗室(11)和直接水洗室(12)；所述传送机构(2)用于传送基板(5)并贯穿所述置换水洗室(11)和直接水洗室(12)；所述清洗水供给机构(3)用于向被传送的所述基板(5)供给清洗水，所述清洗水供给机构(3)包括用于向基板(5)表面喷淋清洗水的多个喷淋管(31)及用于向所述多个喷淋管(31)输送清洗液的送液单元(32)；所述直接水洗室(12)内底部设有分隔构件(15)，所述分隔构件(15)为框形，所述分隔构件(15)在所述直接水洗室(12)内划分出对应于所述分隔构件(15)内的位于中部的直接水洗区域(121)及对应于所述分隔构件(15)外的位于所述直接水洗区域(121)外围的过渡水洗区域(122)；所述直接水洗室(12)在直接水洗区域(121)底部和过渡水洗区域(122)底部分别设有第一回收孔(123)和第二回收孔(124)，所述置换水洗室(11)底部设有第三回收孔(113)；所述送液单元(32)具有用于回收清洗水的直接水循环水箱(321)和置换水循环水箱(322)；所述直接水洗室(12)在直接水洗区域(121)内已使用过的清洗水通过第一回收孔(123)被分配至直接水循环水箱(321)；所述直接水洗室(12)在过渡水洗区域(122)内已使用过的清洗水通过第二回收孔(124)被选择性分配至直接水循环水箱(321)或置换水循环水箱(322)；所述置换水洗室(11)内已使用过的清洗水通过第三回收孔(113)被分配至置换水循环水箱(322)；所述送液单元(32)将所述直接水循环水箱(321)内回收的清洗水供给给所述多条喷淋管(31)中的一部分以对基板(5)进行清洗，所述送液单元(32)将纯水作为清洗水供给给所述多条喷淋管(31)中的另一部分以对基板(5)进行清洗。