[发明专利]用于制备多孔模板的衬底及制备方法、多孔模板的制备方法在审
| 申请号： | 201810402659.8 | 申请日： | 2018-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN108385080A | 公开（公告）日： | 2018-08-10 |
| 发明（设计）人： | 李国强;李筱婵;王文樑;郑昱林 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/58 | 分类号： | C23C14/58;C23C14/14;C23C14/35;C23C16/34;C23C28/00 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 陈文姬 |
| 地址： | 510640 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了用于制备多孔模板的衬底，依次包括基板、金属钛薄膜、多孔氮化钛薄膜。本发明还公开了用于制备多孔模板的衬底制备方法，包括以下制备方法：(1)在基板上沉积金属钛薄膜，得到镀钛基板；(2)将镀钛基板转移到金属有机物化学气相沉积生长设备中；(3)在氢气气氛中对镀钛基板在600‑680℃保温预烘烤3‑10min；(4)通入NH3和H2混合气体，在600‑680℃温度条件下进行对镀钛基板进行氮化3～15min，金属钛薄膜表面由于氮化反应开裂成的多孔氮化钛薄膜。本发明的模板的尺寸取决于衬底本身而不受制于制备方法，更加适用于大尺寸工业生产需求。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 基板 多孔模板 衬底 镀钛 多孔氮化钛 金属钛薄膜 薄膜 金属有机物化学气相沉积 氮化 沉积金属 氮化反应 混合气体 基板转移 氢气气氛 生长设备 温度条件 预烘烤 钛薄膜 保温 | ||
【主权项】：
1.用于制备多孔模板的衬底，其特征在于，依次包括基板、金属钛薄膜、多孔氮化钛薄膜。
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