[发明专利]具有微结构的器件及其制作方法在审
申请号: | 201810404729.3 | 申请日: | 2018-04-28 |
公开(公告)号: | CN110407157A | 公开(公告)日: | 2019-11-05 |
发明(设计)人: | 李守军;夏振 | 申请(专利权)人: | 张家港康得新石墨烯应用科技有限公司 |
主分类号: | B81C1/00 | 分类号: | B81C1/00;B81B1/00;B82Y40/00 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 韩建伟;霍文娟 |
地址: | 215634 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本申请提供了一种具有微结构的器件及其制作方法。该制作方法包括:步骤S1,在基底上设置气溶胶态、悬浮的液滴态和/或气态的光固化树脂,形成光固化树脂层;步骤S2,按照预定图案对光固化树脂进行固化;步骤S3,去除未固化的光固化树脂,固化的光固化树脂形成微结构。该制作方法中,由于未固化的光固化树脂为气态、悬浮的液滴态和/或气溶胶态,所以,无需进行刻蚀就能去除,过程简单,且避免了采用刻蚀法产生对环境有害的污水的问题,且去除的未固化的气态、悬浮的液滴态和/或气溶胶态的光固化树脂可以回收利用,产品利用率比较高。 | ||
搜索关键词: | 光固化树脂 气溶胶态 微结构 未固化 液滴 去除 悬浮 制作 刻蚀 固化 光固化树脂层 产品利用率 固化树脂 回收利用 预定图案 基底 污水 申请 | ||
【主权项】:
1.一种具有微结构的器件的制作方法,其特征在于,所述制作方法包括:步骤S1,在基底(10)上设置气溶胶态、悬浮的液滴态和/或气态的光固化树脂,形成光固化树脂层(20);步骤S2,按照预定图案对所述光固化树脂进行固化;以及步骤S3,去除未固化的所述光固化树脂,固化的所述光固化树脂形成微结构(21)。
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