[发明专利]一种无尘室的制造方法

摘要

本发明公开了一种集成电路芯片、太阳能光伏芯片等生产用无尘室的制造方法。本发明的无尘室，包括空调机组和由保温墙板围成的密封空间，上述密封空间的底部设置有水平支撑台，密封空间的顶部设置有进风罩，该进风罩通过进风管与空调机组连通；进风罩周围通过排风管与空调机组连通。本发明的无尘室的制造方法，包括以下步骤：步骤A、无尘室建造；步骤B、除尘；步骤C、空气净化；步骤D、铺设地板。本发明提升了无尘室内部的温度均匀性，实现了无尘室的有效保温。

主权项

1.一种无尘室的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤A、无尘室建造：通过保温墙板围成密封空间，在上述密封空间的底部安装0.3～0.5m高的水平支撑台(3)；在密封空间的顶部设置吊顶，并将进风罩(2)固定于上述吊顶上，然后安装进风管(102)、排风管(103)和空调机组(1)，完成无尘室的建造；其中：进风罩(2)由多个模块拼装而成；步骤B、除尘：首先对无尘室内部进行人工清扫，然后通过吸尘器对无尘室内部进行吸尘，最后将无尘室内部所有物体表面至少擦拭一遍酒精；步骤C、空气净化：通过进风管(102)向无尘室内部通入过滤净化后的新风，同时通过排风管(103)将无尘室内部的空气排出，保持1～1.5h；步骤D、铺设地板：将液态的环氧树脂倾倒于无尘室的地面，待环氧树脂凝固后，使得无尘室的地面形成水平的环氧树脂涂层地板；其中：所述液态的环氧树脂中添加了占其质量10～15％的石墨粉；所述保温墙板包括内、外两层夹板(1‑1)和位于内、外两层夹板(1‑1)之间的填充料，内、外两层夹板(1‑1)相对的表面上均分别等间距设有凸起部(1‑4)和凹陷部(1‑5)，且凸起部(1‑4)和凹陷部(1‑5)之间间隔分布；内、外两层夹板(1‑1)之间设置有沿所述保温墙板中心线两侧对称分布的支撑框架(1‑2)，所述支撑框架(1‑2)为长方体的框架结构，且支撑框架(1‑2)的每个面上均通过一根连杆(1‑6)连接对角线；所述保温墙板的制备步骤如下：步骤一、夹板制作：将以下重量份的组分混合：石灰10～15份、石膏50～65份、聚四氟乙烯30～35份，加入水，搅拌成干硬性料浆，然后注入夹板模具内，辊压成型，再于220～255℃、2.2～2.5MPa条件下蒸养5～7h，降温脱模后得到夹板(1‑1)，最后依次对夹板(1‑1)洒水养护3～4天，自然养护5～7天，得到夹板(1‑1)成品；步骤二、主填充料制作：将混合物A加入搅拌器中，加入水，使混合物A在150～180转/分钟的转速下搅拌5～7分钟，得到混合物A浆料；其中：混合物A包括以下重量份的组分：粒径3～5mm的玄武岩碎石20～25份、水泥10～15份、粉煤灰20～25份、矿渣微粉25～30份、生活垃圾焚烧后的底灰35～45份；步骤三、填充料一次填充：首先，将夹板(1‑1)成品表面刷洗，固定在保温墙板模具内部的两侧，将支撑框架(1‑2)对称地固定在保温墙板模具内部中心线的两侧；然后，选取一泡沫塑料板，随后将泡沫塑料板竖直固定于保温墙板模具内部的中心线上，且该泡沫塑料板与支撑框架(1‑2)相对的两侧面上分别贴有一层网格布(1‑3)；最后，将保温墙板模具固定在振动台，开启振动台下部安装的振动电机，使振动电机以800～1200Hz的振动频率持续振动，同时向保温墙板模具内部浇注步骤二制备的混合物A浆料，直至保温墙板模具内部注满混合物A浆料；等待2～3分钟，当保温墙板模具内部混合物A浆料的液位下降后，将振动电机调整为以2500～2750Hz的振动频率持续振动，继续向保温墙板模具内部浇注混合物A浆料，直至保温墙板模具内部再次注满混合物A浆料，将保温墙板模具从振动台上取下，进行自然养护；步骤四、填充料二次填充：首先，将混合物B研磨粉碎，其中，混合物B包括以下重量份的组分：废玻璃粉30～40份、生活垃圾焚烧后的底灰30～35份、矿渣微粉30～35份、助剂30～35份，所述助剂包括以下重量份的组分：元明粉30～35份、硼矿粉20～25份、铜矿砂10～15份、氯化镁20～25份、铝酸钠20～30份、海泡石粉10～15份；将粉碎后的混合物B放入搅拌器中，加入水，使混合物B在150～180转/分钟的转速下搅拌30～35分钟，得到混合物B浆料；然后，将混合物B浆料造粒形成混合物B颗粒，控制混合物B颗粒的成球粒径在2～3.5mm之间，烘干混合物B颗粒；最后，重新将保温墙板模具固定在振动台，使振动电机以200～250Hz的振动频率持续振动，将一定量加热至300～350℃的混合物B颗粒撒入保温墙板模具内部的泡沫塑料板上，泡沫塑料板内部被混合物B颗粒自上而下烫出交错的贯通通道，将保温墙板模具从振动台上取下；步骤五、填充料三次填充：首先，将混合物C加入搅拌器中，加入水，使混合物C在150～180转/分钟的转速下搅拌30～35分钟，得到混合物C浆料；其中：混合物C包括以下重量份的组分：沙30～35份、水泥10～15份、粉煤灰15～20份、矿渣微粉15～20份、生活垃圾焚烧后的底灰20～25份、乳胶粉10～15份、羟丙基甲基纤维素10～15份、碳化硅粉10～15份、酒石酸3～5份、聚丙烯短纤维3～5份、硬脂酸钠3～5份和三乙醇胺3～5份；然后，在保温墙板模具与泡沫塑料板相平行的两个侧面上以及保温墙板模具的底面上分别连接一个导波探头，分别通过三个导波探头向保温墙板模具内部导入27～35KHz的超声波，将混合物C浆料顺着泡沫塑料板内部的贯通通道注满泡沫塑料板内部，随后对保温墙板模具进行自然养护；最后，在保温墙板模具内部的泡沫塑料板上喷洒水，随后通过磁控管集中向泡沫塑料板发射2450～2500MHZ的电磁波5～7min，将保温墙板模具自然风干2～3天后，脱模得到保温墙板成品。