[发明专利]一种波导光栅滤波器及其制作方法有效
| 申请号： | 201810409526.3 | 申请日： | 2018-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN108562971B | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 陈开;段飞;余永林 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02B6/138;G02F1/01 |
| 代理公司： | 北京君智知识产权代理事务所(普通合伙) 11305 | 代理人： | 黄绿雯 |
| 地址： | 430074 *** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种波导光栅滤波器，所述波导光栅滤波器包括衬底(1)和波导(2)，还包括用于支撑波导(2)的梁柱结构(3)；所述梁柱结构(3)包括位于波导(2)两侧、设置在衬底(1)上的柱结构(302)和用于连接柱结构(302)的梁结构(301)；波导(2)与衬底(1)之间具有空气隙(201)。本发明波导光栅滤波器采用热调谐的方法改变波导光栅滤波器的光谱特性，通过在波导下方构造空气隙实现波导与衬底之间的局部热隔离结构，阻碍了热的垂直流动，从而降低波导光栅滤波器的功耗。本发明的波导光栅滤波器具有低功耗、调谐效率高、调谐较快、结构稳定、易集成等优点，在波分复用系统中有显著的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 波导 光栅 滤波器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种波导光栅滤波器，所述波导光栅滤波器包括衬底(1)和设置在衬底(1)上的波导(2)，所述波导(2)包括波导主体(202)、设于波导主体(202)以上的二氧化硅上包层(203)和设于二氧化硅上包层(203)以上的薄膜加热器层(204)，所述波导主体(202)两侧刻有光栅；其特征在于所述波导光栅滤波器还包括用于支撑波导(2)的梁柱结构(3)；所述梁柱结构(3)包括位于波导(2)两侧、设置在衬底(1)上的柱结构(302)和用于连接柱结构(302)的梁结构(301)；波导(2)与衬底(1)之间具有空气隙(201)。
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