[发明专利]探头和测试压电系数的方法在审
| 申请号： | 201810412065.5 | 申请日： | 2018-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN108982982A | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | 吴露;张千;王开安;陈健强 | 申请（专利权）人： | 成都安瑞芯科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R29/22 | 分类号： | G01R29/22;G01R1/06 |
| 代理公司： | 成都帝鹏知识产权代理事务所(普通合伙) 51265 | 代理人： | 黎照西 |
| 地址： | 610000 四川省成都市天府新区天*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及压电材料检测技术领域，尤其涉及一种探头和测试压电系数的方法。本发明的探头包括绝缘连接的压电芯片和检测探针，所述压电芯片包括相对的两个表面，其中一个表面接地，所述检测探针触碰压电膜样品时可检测压电膜样品的非接地表面和压电芯片的非接地表面上分别产生的电压信号。本发明的探头和测试压电系数的方法可以基于压电膜的一个表面去进行压电系数的检测，无须破坏压电膜，操作比较简单，检测效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 压电系数 压电膜 探头 压电芯片 检测探针 非接地 测试 检测技术领域 电压信号 绝缘连接 压电材料 接地 可检测 检测 触碰 | ||
【主权项】：
1.一种探头，其用于测试压电膜样品的压电系数，所述压电膜样品一表面接地，其特征在于：所述探头包括连接的压电芯片和检测探针，所述压电芯片包括相对的两个表面，其中一个表面接地，所述检测探针触碰压电膜样品表面时可检测压电膜样品的非接地表面和压电芯片的非接地表面上分别产生的电压信号。
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