[发明专利]一种微通道散热器结构及其制备方法有效
| 申请号： | 201810412925.5 | 申请日： | 2018-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN108666283B | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 张剑;卢茜;向伟玮;李阳阳;林佳;陈显才 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第二十九研究所 |
| 主分类号： | H01L23/473 | 分类号： | H01L23/473 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 郭彩红 |
| 地址： | 610036 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： |
本发明提供了一种微通道散热器结构及其制备方法，包括内埋流道和进/出液口，设置于键合在一起的A硅片和B硅片中的A硅片内；还包括开口流道和分流流道；所述开口流道设置于B硅片中，与A硅片中的部分内埋流道一一对应并相通；所述开口流道贯穿B硅片；所述分流流道设置于散热器内部，与内埋流道和进/出液口相通。与现有技术相比，散热更均匀，散热效果更强，散热热流密度大于600W/cm |
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| 搜索关键词： | 一种 通道 散热器 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微通道散热器结构，包括内埋流道和进/出液口，设置于键合在一起的A硅片和B硅片中的A硅片内；其特征在于：还包括开口流道和分流流道；所述开口流道设置于B硅片中，与A硅片中的部分内埋流道一一对应并相通；所述开口流道贯穿B硅片；所述分流流道设置于散热器内部，与内埋流道和进/出液口相通。
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