[发明专利]一种全自动硅片清洗装置

摘要

本发明涉及自动化技术领域，尤其是一种全自动硅片清洗装置，包括机体，机体的一侧设有进料口，进料口处设有进料机构，机体的另一侧设有出料口，出料口处设有出料机构，机体内设有清洗机构，第一超声清洗槽靠近进料口，清洗机构的两侧均设有两个滚动机构，滚动机构包括两个固定板，固定板之间活动连接有两个第二滚轴，滚动机构之间设有移动板，移动板的两端分别位于第二滚轴之间，第二伸缩杆的输出轴与移动板的一端固定连接，滚动机构之间移动板的上方设有多个第一伸缩杆，连接板位于安装板的上方。此装置减少了劳动力，降低了劳动强度，同时提高了工作效率和提高了硅片的清洗效果，降低了降低生产厂家的生产成本。

主权项

1.一种全自动硅片清洗装置，包括机体（4），其特征在于，所述机体（4）的一侧设有进料口（2），所述进料口（2）处设有进料机构，所述机体（4）的另一侧设有出料口（14），所述出料口（14）处设有出料机构，所述机体（4）内设有清洗机构，所述清洗机构包括依次设置在机体（4）内底部的第一超声清洗槽（16）、第二超声清洗槽（17）、第一超声碱洗槽（18）、第二超声碱洗槽（19）、第一超声漂洗槽（20）、第二超声漂洗槽（21）、酸洗槽（22）、第三超声漂洗槽（23）和第四超声漂洗槽（24），所述第一超声清洗槽（16）靠近进料口（2），所述清洗机构的两侧均设有两个滚动机构，所述滚动机构包括两个固定板（31），所述固定板（31）之间活动连接有两个第二滚轴（30），所述滚动机构之间设有移动板（10），所述移动板（10）的两端分别位于第二滚轴（30）之间，所述机体（4）的内壁上设有第二伸缩杆（25），所述第二伸缩杆（25）的输出轴与移动板（10）的一端固定连接，所述滚动机构之间移动板（10）的上方设有多个第一伸缩杆（9），所述第一伸缩杆（9）的上方连接有安装板（8），所述第一超声清洗槽（16）、第二超声清洗槽（17）、第一超声碱洗槽（18）、第二超声碱洗槽（19）、第一超声漂洗槽（20）、第二超声漂洗槽（21）、酸洗槽（22）、第三超声漂洗槽（23）和第四超声漂洗槽（24）内均设有硅片放置架（32），所述硅片放置架（32）的两侧均设有连接板（5），所述连接板（5）位于安装板（8）的上方。