[发明专利]一种纳米级圆台微结构压力传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201810415778.7 | 申请日： | 2018-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN108981980A | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | 杨为家;何鑫;刘均炎;蒋庭辉;江嘉怡;刘俊杰;刘铭全;刘艳怡;王诺媛 | 申请（专利权）人： | 五邑大学 |
| 主分类号： | G01L1/22 | 分类号： | G01L1/22;B82Y40/00;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 梁嘉琦 |
| 地址： | 529000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种纳米级圆台微结构压力传感器的制备方法，(1)以双通孔多孔阳极氧化铝为模板，将双通孔多孔阳极氧化铝模板固定在平整的基板上；(2)在所述双通孔多孔阳极氧化铝模板上均匀涂覆Ag纳米线，其中至少一根所述Ag纳米线渗入或进入双通孔多孔阳极氧化铝模板的孔洞当中；(3)接着在双通孔多孔阳极氧化铝模板上均匀涂覆PDMS；(4)固化、脱模，得到纳米级圆台微纳结构的PDMS；(5)在所述纳米级圆台微纳结构的PDMS具有纳米级圆台微纳结构的面上均匀涂覆Ag纳米线；(6)采用镀有氧化铟锡的PET面对面进行封装，并制备引出电极。本发明的传感器响应灵敏度高，结构稳定性好，使用寿命长。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米级 双通孔 多孔阳极氧化铝模板 圆台 均匀涂覆 微纳结构 纳米线 制备 微结构压力传感器 多孔阳极氧化铝 孔洞 传感器响应 结构稳定性 使用寿命 氧化铟锡 引出电极 灵敏度 基板 脱模 封装 固化 渗入 平整 | ||
【主权项】：
1.一种纳米级圆台微结构压力传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)以双通孔多孔阳极氧化铝为模板，将双通孔多孔阳极氧化铝模板固定在平整的基板上；(2)在所述双通孔多孔阳极氧化铝模板上均匀涂覆Ag纳米线，其中至少一根所述Ag纳米线渗入或进入双通孔多孔阳极氧化铝模板的孔洞当中；(3)接着在双通孔多孔阳极氧化铝模板上均匀涂覆PDMS；(4)固化、脱模，得到纳米级圆台微纳结构的PDMS；(5)在所述纳米级圆台微纳结构的PDMS具有纳米级圆台微纳结构的面上均匀涂覆Ag纳米线；(6)采用镀有氧化铟锡的PET为电极，将两块所述电极采用三明治方式包夹住步骤(5)中涂覆Ag纳米线的PDMS，进行封装，并制备引出电极，得到所述纳米级圆台微结构压力传感器。
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