[发明专利]一种二硫化钼纳米薄片的制备方法在审
申请号: | 201810417992.6 | 申请日: | 2018-05-04 |
公开(公告)号: | CN110240199A | 公开(公告)日: | 2019-09-17 |
发明(设计)人: | 江峰;闫鹏飞 | 申请(专利权)人: | 张家港钛光新材料科技有限公司 |
主分类号: | C01G39/06 | 分类号: | C01G39/06;B82Y30/00;B82Y40/00 |
代理公司: | 北京元周律知识产权代理有限公司 11540 | 代理人: | 张莹 |
地址: | 215628 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本申请公开了一种二硫化钼纳米薄片的制备方法,其特征在于,采用化学气相沉积法;其中,化学气相沉积法中采用高低双温区加热方法;所述化学气相沉积法的原料包括钼源和硫源;所述钼源的位置位于所述硫源的下风向,衬底的位置位于所述钼源的下风向;所述衬底为带有纳米柱的衬底。该方法既可以在平面衬底上生长水平二硫化钼薄片,又可以在带有纳米柱的衬底上生长垂直二硫化钼薄片,材料直接在衬底上生长,不需加压,耗时短,成本低,工艺简便,可以大规模密集生长,可重复性强。 | ||
搜索关键词: | 衬底 二硫化钼 化学气相沉积 钼源 生长 纳米薄片 纳米柱 下风向 硫源 制备 可重复性 双温区 加热 加压 耗时 垂直 申请 | ||
【主权项】:
1.一种二硫化钼纳米薄片的制备方法,其特征在于,采用化学气相沉积法;其中,化学气相沉积法中采用高低双温区加热方法;所述化学气相沉积法的原料包括钼源和硫源;所述钼源的位置位于所述硫源的下风向,衬底的位置位于所述钼源的下风向;所述衬底为带有纳米柱的衬底。
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