[发明专利]一种检测装置的制作方法在审
| 申请号： | 201810425951.1 | 申请日： | 2018-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN108645911A | 公开（公告）日： | 2018-10-12 |
| 发明（设计）人： | 舒琳;吴卫东;王雪敏;阎大伟;罗跃川;王进 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G01N29/04 | 分类号： | G01N29/04 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 吴开磊 |
| 地址： | 621000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种检测装置的制作方法，属于微型电子器件技术领域。该制作方法包括：一待测试金属结构部件，在所述待测试金属结构部件上设置声阻挡层；在所述声阻挡层上设置声表面波传感器，其中，在对所述待测试金属结构部件进行测试时，所述声阻挡层使所述声表面波传感器产生的声表面波作用于所述待测试金属结构部件的表面。该制作方法将声表面波传感器与待测试的金属结构件集成在一起，解决了采用粘结剂可能会发生开裂、崩落等现象，导致声表面波传感器的失效、损坏甚至脱落的技术问题，同时，通过声阻挡层使声表面波传感器产生的声表面波作用于待测试金属结构部件的表面，使得传感器具有更高的品质因数、谐振性能和测试灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 声表面波传感器 测试金属 结构部件 阻挡层 声表面波 制作 种检测 微型电子器件 测试灵敏度 金属结构件 测试 品质因数 谐振 传感器 粘结剂 | ||
【主权项】：
1.一种检测装置的制作方法，其特征在于，包括：一待测试金属结构部件，在所述待测试金属结构部件上设置声阻挡层；在所述声阻挡层上设置声表面波传感器，其中，在对所述待测试金属结构部件进行测试时，所述声阻挡层使所述声表面波传感器产生的声表面波作用于所述待测试金属结构部件的表面。
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