[发明专利]大尺寸合成石英玻璃衬底、评价方法、和制造方法

摘要

本发明涉及一种大尺寸合成石英玻璃衬底、评价方法、和制造方法。该大尺寸合成石英玻璃衬底具有至少1,000mm的对角线长度。假设在衬底表面上限定有效范围，并且将有效范围划分为多个评价区域，使得所述评价区域彼此部分重叠，每个评价区域中的平坦度为至多3μm。从具有高平坦度和在衬底表面内的最小局部梯度的石英玻璃衬底制备大尺寸光掩模。

主权项

1.一种具有前表面和后表面以及至少1,000mm的对角线长度的大尺寸合成石英玻璃衬底，其中在所述前表面和/或后表面上限定有效范围，将所述有效范围划分为多个评价区域使得所述评价区域彼此部分重叠，并且每个评价区域中的平坦度为至多3μm。