[发明专利]一种激光器腔内颗粒检排装置有效
申请号: | 201810431941.9 | 申请日: | 2018-05-08 |
公开(公告)号: | CN110449413B | 公开(公告)日: | 2021-06-25 |
发明(设计)人: | 杜仕峰;彭钦军;薄勇;王志超;张申金;许祖彦 | 申请(专利权)人: | 中国科学院理化技术研究所 |
主分类号: | B08B5/04 | 分类号: | B08B5/04;B08B6/00;B08B13/00 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 王莹;吴欢燕 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及激光器技术领域,公开了一种激光器腔内颗粒检排装置,该装置包括:紫外灯、吸嘴和吸尘器;紫外灯发出紫外光用于肉眼直观检查发现腔内颗粒,紫外灯的光线照射在吸嘴的前端,吸嘴的后端与吸尘器相连,吸嘴呈细长状,吸嘴内部具有第一通道,第一通道从吸嘴的前端至后端贯穿吸嘴,第一通道与吸尘器的吸入口相连通。本发明提供的一种激光器腔内颗粒检排装置,设置紫外灯在腔内产生荧光,可用肉眼直观检查发现腔内微颗粒;设置吸嘴可深入狭窄空间,对器件表面的微颗粒进行近距离强吸引力排除;通过使紫外光照射在吸嘴的前端范围,可使吸嘴准确的抵达微颗粒处进行精准排除,提高检排效果;从而确保激光器腔内洁净,保障激光器可靠性。 | ||
搜索关键词: | 一种 激光器 颗粒 装置 | ||
【主权项】:
1.一种激光器腔内颗粒检排装置,其特征在于,包括:紫外灯、吸嘴和吸尘器;所述紫外灯发出紫外光用于肉眼直观检查发现腔内颗粒,所述紫外灯的光线照射在所述吸嘴的前端,所述吸嘴的后端与所述吸尘器相连,所述吸嘴呈细长状,所述吸嘴内部具有第一通道,所述第一通道从所述吸嘴的前端至后端贯穿所述吸嘴,所述第一通道与所述吸尘器的吸入口相连通。/n
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