[发明专利]带电粒子显微镜中的图像处理

摘要

一种使用带电粒子显微镜的方法，所述带电粒子显微镜包括：源，用于产生带电粒子的射束；样品保持器，用于保持样品；光照器，用于利用所述带电粒子辐照所述样品；检测器，用于检测响应于所述辐照而从样品放射的辐射；控制器，用于控制显微镜的操作的至少一些方面，所述方法包括以下步骤：使用所述检测器来采集样品的给定部分的相继的一系列分量图像{I₁,…,I_n,…,I_N}；组合所述分量图像以便聚集复合图像，进一步包括在所述组合步骤之前执行的以下步骤：接连地量化每一个分量图像，并且将它存储在存储器中；针对每一个经量化的分量图像记录每像素的量化误差，以及针对经量化的分量图像{I₁,…,I_n}保存每像素的累积量化误差的运转记录T_n；当针对给定像素量化下一分量图像I_n+1时，选择将趋于避免相对于T_n而进一步增加T_n+1的量化极性，使得：如果T_n为正，那么T_n+1将更负；如果T_n为负，那么T_n+1将更正；如果T_n为零，那么允许T_n+1为正、负或零。

主权项

1.一种使用带电粒子显微镜的方法，所述带电粒子显微镜包括：‑ 源，用于产生带电粒子的射束；‑ 样品保持器，用于保持样品；‑ 光照器，用于利用所述带电粒子辐照所述样品；‑ 检测器，用于检测响应于所述辐照而从样品放射的辐射；‑ 控制器，用于控制显微镜的操作的至少一些方面，所述方法包括以下步骤：‑ 使用所述检测器来采集样品的给定部分的相继的一系列分量图像{I1,…,In,…,IN}；‑ 组合所述分量图像以便聚集复合图像，其特征在于，在所述组合步骤之前执行以下步骤：‑ 接连地量化每一个分量图像，并且将它存储在存储器中；‑ 针对每一个经量化的分量图像记录每像素的量化误差，以及针对经量化的分量图像{I1,…,In}保存每像素的累积量化误差的运转记录Tn；‑ 当针对给定像素量化下一分量图像In+1时，选择将趋于避免相对于Tn而进一步