[发明专利]一种四晶单色仪的光路校准方法及校准装置有效
| 申请号： | 201810432509.1 | 申请日： | 2018-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN108872279B | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 吴文俊;张伊唯;周佳琪;马栋梁;张念站 | 申请（专利权）人： | 苏州矩阵光电有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/20008 | 分类号： | G01N23/20008;G01N23/207 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 马永芬 |
| 地址： | 215614 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种四晶单色仪的光路校准方法及校准装置，其中校准方法包括如下步骤：提供一光源，第一接收屏以及四晶单色仪；使光源发出的入射光照射到第一接收屏上，并记录第一接收屏上的光斑位置为第一光斑位置；保持光源和第一接收屏的相对位置不变，并将四晶单色仪设置于光源与第一接收屏之间；使光源发出的入射光照射到第一晶体上，入射光依次经过第一晶体～第四晶体反射后的出射光照射到第一接收屏上，并记录第一接收屏上的光斑位置为第二光斑位置；调整第一晶体～第四晶体中的至少一个晶体，以使第二光斑位置与第一光斑位置为同一位置。能够解决四晶单色仪中的光路偏移时，直接使用不可见的X射线进行光路校准难度较大的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单色仪 校准 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种四晶单色仪的光路校准方法，其特征在于，包括如下步骤：提供一光源(1)，第一接收屏(2)以及四晶单色仪(3)；所述四晶单色仪(3)包括第一晶体(31)，第二晶体(32)，第三晶体(33)以及第四晶体(34)；使所述光源(1)发出的入射光照射到所述第一接收屏(2)上，并记录所述第一接收屏(2)上的光斑位置为第一光斑位置；保持所述光源(1)和所述第一接收屏(2)的相对位置不变，并将所述四晶单色仪(3)设置于所述光源(1)与所述第一接收屏(2)之间；使所述光源(1)发出的入射光照射到所述所述第一晶体(31)上，所述入射光依次经过所述第一晶体(31)、所述第二晶体(32)、所述第三晶体(33)和所述第四晶体(34)反射后的出射光照射到所述第一接收屏(2)上，并记录所述第一接收屏(2)上的光斑位置为第二光斑位置；调整所述第一晶体(31)、所述第二晶体(32)、所述第三晶体(33)和第四晶体(34)中的至少一个晶体，以使所述第二光斑位置与所述第一光斑位置为同一位置。
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