[发明专利]光谱辐射亮度响应度测量系统在审

专利信息
申请号: 201810435108.1 申请日: 2018-05-09
公开(公告)号: CN110470400A 公开(公告)日: 2019-11-19
发明(设计)人: 孙广尉;孙红胜;王加朋;张玉国;杨旺林;宋春晖;吴红霞 申请(专利权)人: 北京振兴计量测试研究所
主分类号: G01J5/00 分类号: G01J5/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 100074 北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明涉及光学测试设备技术领域,公开了一种光谱辐射亮度响应度测量系统。该系统包括发出真空紫外光辐射的真空紫外光源、对入射的真空紫外光辐射进行分光处理后输出预定波长的光辐射的真空紫外单色分光装置、对输出的预定波长的光辐射进行均匀处理的真空紫外匀光装置、参考辐射亮度计、在参考辐射亮度计对准真空紫外匀光装置和待校准辐射计对准真空紫外匀光装置之间切换的切换装置、根据所述参考辐射亮度计和所述待校准辐射计分别测量得到的辐射亮度值计算所述待校准辐射计的光谱辐射亮度响应度控制器和提供真空环境的无油真空仓。由此,可以准确获得待校辐射计的光谱辐射亮度响应度。
搜索关键词: 辐射计 光谱辐射 匀光装置 校准 亮度计 响应度 真空紫外光辐射 辐射 光辐射 预定波长 参考 对准 光学测试设备 真空紫外光源 测量系统 分光装置 均匀处理 切换装置 无油真空 真空环境 控制器 输出 分光 入射 测量
【主权项】:
1.一种光谱辐射亮度响应度测量系统,其特征在于,该系统包括真空紫外光源、真空紫外单色分光装置、真空紫外匀光装置、参考辐射亮度计、切换装置、控制器和无油真空仓,其中,/n所述无油真空仓为所述真空紫外光源、所述真空紫外单色分光装置、所述真空紫外匀光装置、所述真空紫外辐射亮度计和所述切换装置提供真空环境;/n所述真空紫外光源用于发出真空紫外光辐射;/n所述真空紫外单色分光装置用于对入射的真空紫外光辐射进行分光处理,输出预定波长的光辐射;/n所述真空紫外匀光装置用于对输出的预定波长的光辐射进行均匀处理;/n所述切换装置用于在所述参考辐射亮度计对准所述真空紫外匀光装置和待校准辐射计对准所述真空紫外匀光装置之间切换,所述参考辐射亮度计和所述待校准辐射计分别对均匀处理后的光辐射进行辐射亮度值测量;/n所述控制器用于根据所述参考辐射亮度计和所述待校准辐射计分别测量得到的辐射亮度值计算所述待校准辐射计的光谱辐射亮度响应度。/n
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