[发明专利]一种能够提高镀膜均匀性的方法及石墨载具

摘要

本发明的能够提高镀膜均匀性的方法及石墨载具，沉积炉内设置若干横向并列的能够装载太阳能晶硅电池片的石墨舟，每片石墨舟通过支撑架支撑固定，相邻支撑架之间通过陶瓷支撑套分隔支撑，支撑架之间距离不均匀，位于外侧的支撑架上石墨舟中的太阳能晶硅电池片之间距离大于位于内侧的支撑架上石墨舟中的太阳能晶硅电池片之间距离，从外侧向内侧支撑架上石墨舟中的太阳能晶硅电池片间距逐渐缩小，以提高电场强度，补偿因温度不同导致的膜层沉积速度的不同，实现了对膜层沉积速度的有效控制，使得膜层厚度均匀性表现更为优异。

主权项

1.一种能够提高镀膜均匀性的方法，其特征在于：包括以下步骤：a)将沉积炉中的石墨载具装载的太阳能电池载片由外侧向内侧依次编号太阳能电池载片编号C1、C2、C3……Cn；b)C1与C2之间间距记作D1，C2与C3之间间距记作D2，……Cn‑1与Cn之间间距记作Dn‑1；c)C1与C2之间陶瓷支撑套的长度记作H1，C2与C3之间陶瓷支撑套的长度记作H2，……Cn‑1与Cn之间陶瓷支撑套的长度记作Hn‑1；d)等距离均匀设置沉积炉中的石墨载具，使得各石墨载具装载的太阳能电池载之间的间距相等，即各D1＝D2＝D3＝……＝Dn‑1＝H1＝H2＝H3＝……＝Hn‑1；e)应用给定工艺的相应工艺预热时间、总载片数量，进行镀膜；f)镀膜完成后分别测量记录相邻石墨载具中太阳能电池载片之间的间距内所有膜层厚度的平均值，记作F1、F2、F3……Fn‑1；g)因电场强度特性，各石墨载具中太阳能电池载片温度变化不同，越靠近中间的石墨载具中太阳能电池载片载片的膜层厚度越薄，选择Fn/2相应的厚度数据值作为基准膜层厚度；h)测量Fn/2相应的陶瓷支撑套长度Hn/2，作为基准陶瓷支撑套长度；i)建立陶瓷支撑套长度H的调整数学模型，计算陶瓷支撑套长度H的修正补偿系数：……以此类推；其中K和M分别为修正补偿系数，与工艺预热时间、总载片数量有关；获得各陶瓷支撑套长度h1、h2、h3……hn‑1；j)根据修正补偿系数制作不同h1、h2、h3……hn‑1长度的陶瓷支撑套，使得各石墨载具中太阳能电池载片之间距离不相同，以调整各石墨载具中太阳能电池载片之间电场强度，使得各石墨载具中太阳能电池载片之间电场强度相等；k)应用给定工艺的相应工艺预热时间、总载片数量，和不同h1、h2、h3……hn‑1长度的陶瓷支撑套，进行镀膜，测量记录相邻石墨载具中太阳能电池载片之间的间距内所有膜层厚度的平均值f1、f2、f3……fn‑1；l)调整相应陶瓷支撑套长度h1、h2、h3……hn‑1值，重复试验镀膜，直到f1＝f2＝f3……＝fn‑1。