[发明专利]大面积有机蒸气射流(OVJP)沉积用的分段印刷杆有效

专利信息
申请号: 201810435695.4 申请日: 2018-05-07
公开(公告)号: CN108807723B 公开(公告)日: 2023-01-13
发明(设计)人: W·E·奎因;G·麦格劳;G·科塔斯 申请(专利权)人: 环球展览公司
主分类号: H10K71/00 分类号: H10K71/00;H10K71/16
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 李琳
地址: 美国新*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 本申请涉及大面积OVJP沉积用的分段印刷杆。提供了包括多个印刷头段的OVJP印刷杆,所述印刷头段中的每一个包括印刷头并且能够独立于每个其它印刷头段相对于衬底定位。从而能够维持更一致的印刷头至衬底距离,即使衬底具有不均一的平坦度。
搜索关键词: 大面积 有机 蒸气 射流 ovjp 沉积 分段 印刷
【主权项】:
1.一种供有机蒸气射流OVJP沉积用的印刷杆,所述印刷杆包含:多个印刷头段,所述多个印刷头段各自包含OVJP印刷头;多个飞行高度距离传感器,所述多个飞行高度距离传感器各自经配置以测量所述印刷杆下方所安置的衬底与所述印刷头段中的至少一个的一部分之间的距离;和多个致动器,其经配置以根据所述衬底与所述印刷杆之间的一或多种距离来调节所述多个印刷头段中的一或多个的位置和/或定向,所述距离由所述多个飞行高度距离传感器中的一或多个测量。
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