[发明专利]补料装置及蒸镀设备

摘要

本发明提供一种补料装置，包括坩埚、喂线机构、压力感应器和控制件，坩埚设于真空反应室内，喂线机构安装在真空反应室的内壁上，喂线机构向坩埚输送线型材料，线型材料在坩埚内被熔融为液体并蒸发，压力感应器用于检测坩埚的重量，并将检测到的重量数据传输至控制件，控制件根据预设模式控制喂线机构的喂线速度，以使坩埚内熔融的蒸镀材料的体积在规定范围内。通过压力感应器监测坩埚的重量，控制件根据压力感应器提供的不同数据，根据预设模式控制喂线机构的喂线速度，从而使得坩埚内熔融的蒸镀材料的体积在规定范围内，从而使得补料装置可以实现自动控制补料操作，避免停机，提高工作效率。本发明还提供了一种蒸镀设备。

主权项

1.一种补料装置，其特征在于，包括坩埚、喂线机构、压力感应器和控制件，所述坩埚设于真空反应室内，所述喂线机构安装在所述真空反应室的内壁上，所述喂线机构向所述坩埚输送线型材料，所述线型材料在所述坩埚内被熔融为液体并蒸发，所述压力感应器用于检测所述坩埚的重量，并将检测到的重量数据传输至所述控制件，所述控制件根据预设模式控制所述喂线机构的喂线速度，以使所述坩埚内熔融的蒸镀材料的体积在规定范围内。