[发明专利]X射线感测装置及其制造方法在审
| 申请号： | 201810439176.5 | 申请日： | 2018-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN110376632A | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 许志行 | 申请（专利权）人： | 晶相光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G01T1/20 | 分类号： | G01T1/20 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新竹科学工业*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本揭露提供一种X射线感测装置及其制造方法。X射线感测装置包括：基板；第一材料层，设置于基板上；电路元件，设置于第一材料层的底部；光电感测元件，设置于电路元件上；柱状结构，对应设置于光电感测元件上，且与光电感测元件接触，其中柱状结构包括闪烁材料；以及接垫，设置于第一材料层的顶表面或底表面上，并与电路元件耦接。 | ||
| 搜索关键词： | 光电感测元件 第一材料 电路元件 感测装置 柱状结构 基板 闪烁材料 顶表面 接垫 耦接 制造 | ||
【主权项】：
1.一种X射线感测装置，其特征在于，包括：一基板；一第一材料层，设置于该基板上；一电路元件，设置于该第一材料层的底部；一光电感测元件，设置于该电路元件上；一柱状结构，对应设置于该光电感测元件上，且与该光电感测元件接触，其中该柱状结构包括一闪烁材料；以及一接垫，设置于该第一材料层的顶表面或底表面上，并与该电路元件耦接。
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