[发明专利]烘烤炉及光阻预烘烤方法在审
| 申请号： | 201810439400.0 | 申请日： | 2018-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN108614391A | 公开（公告）日： | 2018-10-02 |
| 发明（设计）人： | 涂乐志 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂;程晓 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种烘烤炉及光阻预烘烤方法。本发明的烘烤炉包括炉体、开关门、加热板及多条喷气管，当所述开关门开启时，所述多条喷气管用于向出入口喷出热气以防止烘烤腔外的气体进入，能够有效防止烘烤腔外的气流影响开关门处的加热板温度，避免该处温度不均造成预烘烤制程中光阻膜厚不均和线宽不均，进而有效提高显示产品的品质。本发明的光阻预烘烤方法，使用上述烘烤炉进行光阻预烘烤，能够有效防止烘烤腔外的气流影响开关门处的加热板温度，避免该处温度不均造成预烘烤制程中光阻膜厚不均和线宽不均，进而有效提高显示产品的品质。 | ||
| 搜索关键词： | 预烘烤 烘烤炉 开关门 光阻 烘烤腔 加热板 气流影响 温度不均 显示产品 光阻膜 线宽 制程 出入口 喷气管 炉体 喷出 热气 | ||
【主权项】：
1.一种烘烤炉，其特征在于，包括：炉体(50)，其内部为烘烤腔(51)，所述炉体(50)的一侧面设有出入口(52)；开关门(20)，安装于炉体(50)的出入口(52)处；加热板(30)，设置于所述烘烤腔(51)底部，用以对基板(90)进行加热；多条喷气管(40)，设于所述烘烤腔(51)中；当所述开关门(20)开启时，所述多条喷气管(40)用于向所述出入口(52)喷出热气以防止烘烤腔(51)外的气体进入；所述喷气管(40)包括输气管道(41)及设于输气管道(41)上的喷气嘴(42)，所述喷气管(40)通过所述喷气嘴(42)向外喷出热气并控制喷出热气的流向。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市华星光电技术有限公司，未经深圳市华星光电技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810439400.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
