[发明专利]蒸镀设备中晶振片位置的检测方法、蒸镀方法及相关装置有效
| 申请号： | 201810442144.0 | 申请日： | 2018-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN108893722B | 公开（公告）日： | 2019-06-28 |
| 发明（设计）人： | 白玉庭;张超 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 郭润湘 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蒸镀设备中晶振片位置的检测方法、蒸镀方法及相关装置，采用至少两个互不平行的金属电极板，与位于检测孔中心的晶振片形成电容器；在晶振片工作时，实时检测电容器的电容值；根据检测到的电容器的电容值，确定晶振片相对于检测孔中心的位置是否发生异常；在确定发生异常时，更换异常的晶振片。在进行材料蒸镀的过程中，通过检测由晶振片和金属电极板形成的电容器的电容值，可以实时监测晶振片的位置信息，从而可以及时更换位置异常的晶振片，避免由于晶振片偏离检测孔中心而引起蒸镀速率异常波动，可以提高产能和产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 晶振片 电容器 蒸镀 电容 检测 金属电极板 相关装置 蒸镀设备 检测孔 产品良率 更换位置 偏离检测 实时监测 实时检测 孔中心 产能 平行 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀设备中晶振片位置的检测方法，其特征在于，包括：采用至少两个互不平行的金属电极板，与位于检测孔中心的晶振片形成电容器；在所述晶振片工作时，实时检测所述电容器的电容值；根据检测到的所述电容器的电容值，确定所述晶振片相对于所述检测孔中心的位置是否发生异常；在确定发生异常时，更换异常的所述晶振片。
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