[发明专利]一种电子元件生产的光刻装置

摘要

本发明公开了一种电子元件生产的光刻装置，包括底座；底座安装有侧板，侧板的顶部安装有顶板，顶板底部的左右两侧对称固定安装有第一机架和第二机架，第一机架和第二机架的内侧转动安装有第二螺杆和第三螺杆，第二螺杆和第三螺杆上均螺纹连接有第二螺套和第三螺套，第二螺套和第三螺套均与顶板滑动连接，第三螺套的内侧固定安装有电机罩，电机罩的内部固定安装有第一电机，第一电机的输出端固定安装有第一螺杆，第一螺杆上螺纹连接有第一螺套，第一螺套的下侧固定安装有伸缩装置，伸缩装置的伸缩端固定连接有光刻机；所述底座上的中间位置固定安装有固定装置。本发明能够精确地改变光刻机的位置，提高光刻作业的便捷性，操作简单，使用方便。

主权项

1.一种电子元件生产的光刻装置，其特征在于，包括底座(1)，所述底座(1)的左右两侧对称固定安装有两块侧板(2)，侧板(2)的顶部固定安装有顶板(3)；所述顶板(3)底部的左右两侧对称固定安装有第一机架(4)和第二机架(7)，第一机架(4)和第二机架(7)的内侧转动安装有第二螺杆(16)和第三螺杆(19),第二螺杆(16)和第三螺杆(19)的下端通过皮带(18)传动连接；所述第二螺杆(16)和第三螺杆(19)上均螺纹连接有第二螺套(17)和第三螺套(20)，第二螺套(17)和第三螺套(20)均与顶板(3)滑动连接；所述第三螺套(20)的内侧固定安装有电机罩(21)，电机罩(21)的内部固定安装有第一电机(22)，第一电机(22)的输出端固定安装有第一螺杆(5)，第一螺杆(5)的另一端与第二螺套(17)转动连接；所述第一螺杆(5)上螺纹连接有第一螺套(6)，第一螺套(6)的上端与顶板(3)滑动连接；所述第一螺套(6)的下侧固定安装有伸缩装置(8)，伸缩装置(8)的伸缩端固定连接有光刻机(9)；所述底座(1)上的中间位置固定安装有固定装置(10)，固定装置(10)为中间开有圆槽的块状结构；所述固定装置(10)位于圆槽的周围均匀开设有若干滑槽(25)，滑槽(25)的内部滑动安装有滑块(27)，滑块(27)的一端通过伸缩弹簧(26)与滑槽(25)固定连接，滑块(27)的另一端固定安装有卡块(28)。