[发明专利]激光清洁装置及方法

摘要

本发明公开一种激光清洁装置及方法，以单一激光模块通过波长切换单元切换激光光束的波长，并配合制作工艺需求以适当波长及能量的激光光束达成试片(探针卡)的清洁。此方法包含：以激光模块产生一激光光束，通过波长切换单元依据制作工艺需求切换输出的波长，并通过激光光束调控单元调控激光光束的能量大小，再由光路传导单元进行激光光束传导，将激光光束于试片上进行激光清洁的动作，由吸嘴单元进行清洁碎屑排除，由移载平台使激光光束与试片相对移动以达成整面试片的清洁，由控制模块控制波长切换单元、激光光束调控单元与移载平台，以适当波长及能量的激光光束达成试片的全激光清洁的目标，进而提升激光清洁的品质。

主权项

1.一种激光清洁装置，用于清洁试片，该装置包括：载体；激光模块，其设于该载体上方，用以提供激光光束；激光光束调控模块，其设于该载体上方，且包含有能量补偿单元与发散角优化单元，其中，该发散角优化单元用以调整该激光光束为准直激光光束，且该能量补偿单元依据该试片的清洁位置补偿该激光光束所需的激光能量以形成补偿激光光束；波长切换单元，其依据制作工艺需求切换该激光光束输出的波长；以及至少一光学元件，其导引该激光模块所提供的该激光光束通过该能量补偿单元与该发散角优化单元的至少其中一者。