[发明专利]一种热喷涂旋转靶材设备工装有效
申请号: | 201810447753.5 | 申请日: | 2018-05-11 |
公开(公告)号: | CN108570637B | 公开(公告)日: | 2020-01-07 |
发明(设计)人: | 雷雨 | 申请(专利权)人: | 广州市尤特新材料有限公司 |
主分类号: | C23C4/12 | 分类号: | C23C4/12 |
代理公司: | 44202 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人: | 黄华莲;郝传鑫 |
地址: | 510880 广东省广州*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供一种热喷涂旋转靶材设备工装,其特征在于,包括驱动装置、冷却装置、尾座、从动端锁紧装置和承重平台,所述冷却装置包括用于定位靶材第一端的主动端组件和用于定位所述靶材第二端的从动端组件,所述主动端组件固定在所述承重平台台面上的一端,所述驱动装置与所述主动端组件相连接,所述尾座位于所述承重平台台面的另一端,所述从动端锁紧装置安装于所述承重平台并与所述尾座连接,所述尾座可在所述承重平台上移动,且所述尾座与所述从动端组件相连接。本发明通过设置从动端锁紧装置,保证尾座的稳定,减少喷涂过程中靶材的甩动,进而提高靶材的转速,提高生产效率。 | ||
搜索关键词: | 尾座 承重平台 从动端 靶材 锁紧装置 主动端 冷却装置 驱动装置 设备工装 旋转靶材 热喷涂 喷涂过程 生产效率 组件固定 上移动 甩动 保证 | ||
【主权项】:
1.一种热喷涂旋转靶材设备工装,其特征在于,包括驱动装置、冷却装置、尾座、从动端锁紧装置和承重平台,所述冷却装置包括用于定位靶材第一端的主动端组件和用于定位所述靶材第二端的从动端组件,所述主动端组件固定在所述承重平台台面上的一端,所述驱动装置与所述主动端组件相连接,所述尾座位于所述承重平台台面的另一端,所述从动端锁紧装置安装于所述承重平台并与所述尾座连接,所述尾座可在所述承重平台上移动,且所述尾座与所述从动端组件相连接,所述冷却装置还包括芯轴组件,所述主动端组件包括有固定接头、主轴内管、快速接头公头和用于定位所述靶材第一端的主动端头,所述主动端头具有中心通孔,所述主轴内管的第一端和所述快速接头公头分别连接于所述中心通孔的两端;所述芯轴组件包括芯轴和快速接头母头,所述快速接头母头与所述芯轴的第一端相连接,所述快速接头公头与所述快速接头母头可拆卸地连接;所述芯轴为空心管轴,所述快速接头公头和所述快速接头母头均具有内部通道,所述主轴内管的管腔、所述快速接头公头的内部通道、所述快速接头母头的内部通道与所述芯轴的管腔依次连通;所述主轴内管的第二端连接于所述固定接头,且所述主轴内管的第二端为进液端。/n
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C4-00 熔融态覆层材料喷镀法,例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆
C23C4-02 .待镀材料的预处理,例如为了在选定的表面区域镀覆
C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
C23C4-12 .以喷镀方法为特征的
C23C4-18 .后处理
C23C4-14 ..用于长形材料的镀覆
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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