[发明专利]坩埚盖、坩埚盖组件、蒸发源、蒸镀方法有效
| 申请号： | 201810448815.4 | 申请日： | 2018-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN108359941B | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 宫诚致;许如意;薛建成;关立伟 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 柴亮;张天舒 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种坩埚盖、坩埚盖组件、蒸发源、蒸镀方法，属于蒸镀技术领域，其可至少部分解决现有的蒸镀技术中喷嘴容易被堵塞的问题。本发明的坩埚盖包括用于盖住蒸镀坩埚的开口的盖体，所述盖体上具有用于与喷嘴连接的通孔；且，所述盖体内部具有封闭的空腔，所述空腔中设有用于进行加热的加热器件和固态的盐，所述加热器件的加热温度能使所述盐熔融。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚盖 蒸镀 加热器件 喷嘴 蒸发源 盖体 空腔 加热 体内部 熔融 通孔 坩埚 开口 堵塞 封闭 | ||
【主权项】：
1.一种坩埚盖，包括用于盖住蒸镀坩埚的开口的盖体，所述盖体上具有用于与喷嘴连接的通孔；其特征在于，所述盖体内部具有封闭的空腔，所述空腔中设有用于进行加热的加热器件和固态的盐，所述加热器件的加热温度能使所述盐熔融；所述盖体用于设置喷嘴的一侧表面设有凹槽；所述通孔设于凹槽底部，当所述喷嘴连接通孔时，所述喷嘴的至少一部分位于凹槽内。
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