[发明专利]一种具有侧面爬锡引脚的引线框工艺方法有效
申请号: | 201810450061.6 | 申请日: | 2018-05-11 |
公开(公告)号: | CN108493118B | 公开(公告)日: | 2020-03-06 |
发明(设计)人: | 王伟;张灏杰;吴莉亚;张航宇 | 申请(专利权)人: | 江苏长电科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48 |
代理公司: | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人: | 赵海波;孙燕波 |
地址: | 214400 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种具有侧面爬锡引脚的引线框工艺方法,所述方法包括以下步骤:步骤一、冷轧钢板表面预镀铜;步骤二、覆盖感光膜;步骤三、曝光显影,露出需电镀的区域;步骤四、电镀第一金属线路图形;步骤五、覆盖感光膜;步骤六、曝光显影,露出需电镀的区域;步骤七、电镀第二金属线路图形;步骤八、去除感光膜;步骤九、冷轧钢板表面印刷湿膜,烘烤湿膜;步骤十、曝光显影,去掉不需要保护区域的湿膜;步骤十一、包封、固化;步骤十二、减薄框架厚度;步骤十三、覆盖感光膜;步骤十四、曝光显影,露出需要蚀刻的区域;步骤十五、冷轧钢板蚀刻窗口;步骤十六、去除感光膜和固态湿膜,然后镀OSP。本发明只用管控感光湿膜显影的公差,管脚焊接能力强。 | ||
搜索关键词: | 一种 具有 侧面 引脚 引线 工艺 方法 | ||
【主权项】:
1.一种具有侧面爬锡引脚的引线框工艺方法,其特征在于所述方法包括以下步骤:步骤一、冷轧钢板表面预镀铜;步骤二、覆盖感光膜;步骤三、曝光显影,露出需要电镀的区域;步骤四、一次电镀形成第一金属线路图形;步骤五、覆盖感光膜;步骤六、曝光显影,露出需要电镀的区域;步骤七、二次电镀形成第二金属线路图形,第二金属线路层包含引脚和基岛;步骤八、去除感光膜;步骤九、冷轧钢板表面印刷湿膜,烘烤使湿膜转变为固态;步骤十、曝光显影,去掉不需要保护区域的固态湿膜;步骤十一、包封、固化;步骤十二、减薄框架厚度;步骤十三、覆盖感光膜;步骤十四、曝光显影,露出需要蚀刻的区域;步骤十五、冷轧钢板蚀刻窗口,将第一金属线路图形露出来;步骤十六、去除感光膜和固态湿膜,然后镀OSP。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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