[发明专利]一种精确控制DLC膜层厚度的DLC膜层制备方法

摘要

本发明涉及一种精确控制DLC膜层厚度的DLC膜层制备方法，包括以下步骤：（1）对耐磨零部件进行多道清洗；（2）将清洗后的耐磨零部件放在N2气氛下烘干；（3）将烘干后的耐磨零部件放置在真空腔体中，并对真空腔体进行抽真空处理，直至真空腔体的真空度高于1×10‑6mbar时，开始进行DLC镀膜；（4）采用Ar气离子对耐磨零部件进行轰击；（5）采用正己烷和四甲基硅烷在耐磨零部件的表面进行沉积DLC膜层；（6）沉积DLC膜层后，进行破真空冷却至室温后，取出耐磨零部件，测量DLC膜层的厚度。本发明能够对DLC膜层的厚度进行精确控制，保证耐磨零部件摩擦副之间的配合间隙，而且无需再进行配磨加工工序，节省了装配时间，提高了特种设备零部件的装配效率。

主权项

1.一种精确控制DLC膜层厚度的DLC膜层制备方法，其特征在于：该方法包括以下步骤：（1）对耐磨零部件进行多道清洗，去除耐磨零部件上的油污及表面附着物；（2）将清洗后的耐磨零部件放在N2气氛下烘干；（3）将烘干后的耐磨零部件放置在真空腔体中，并对真空腔体进行抽真空处理，直至真空腔体的真空度高于1×10‑6mbar时，开始进行DLC镀膜；（4）采用Ar气离子对耐磨零部件进行轰击，以进一步清除耐磨零部件表面附着物，并活化耐磨零部件表面；（5）采用正己烷和四甲基硅烷在耐磨零部件的表面进行沉积DLC膜层；DLC膜层包括SiC层、SiC和C层、C层三层膜层，通过控制正己烷和四甲基硅烷的流量和沉积时间进行沉积膜层；（6）沉积DLC膜层后，进行破真空冷却至室温后，取出耐磨零部件，采用外径千分尺测量其镀膜前后的尺寸变化，得出DLC膜层的厚度。