[发明专利]一种规则六边形六方氮化硼纳米片的制备方法有效
| 申请号： | 201810452773.1 | 申请日： | 2018-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN108609588B | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 吴亚奇;其他发明人请求不公开姓名 | 申请（专利权）人： | 王子韩 |
| 主分类号： | C01B21/064 | 分类号： | C01B21/064;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 233600 安徽省亳*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 一种规则六边形六方氮化硼纳米片的制备方法，首先，将处理过的铜箔放置在石英管中，然后将装有氨硼烷的磁舟放置在石英管的另一端，向石英管中以100‑500sccm的速度通入氮气赶气，经过2‑5min后，关闭气阀停止通入氮气，然后将放置有铜箔的石英管一端快速升温至800‑900℃，优选为850‑900℃，煅烧30‑45min；其次，继续保持上述煅烧温度，打开气体通入阀，同时分别向石英管中通入氮气和氨气；第三，经过程序升温后，达到氮化硼纳米片生长温度后，保持在该温度下生长20‑30min，此时，关闭氮气气体通入阀，同时调整氨气气体通入阀，控制氨气流量为20‑70sccm；最后，闭氨气气体通入阀，将石英管快速移出加热设备，待石英管温度降至室温后，取出铜箔即可。 | ||
| 搜索关键词： | 石英管 氮气 铜箔 规则六边形 六方氮化硼 氨气气体 纳米片 煅烧 制备 氨气 氮化硼纳米 氨气流量 程序升温 氮气气体 加热设备 快速升温 气阀 氨硼烷 温度降 生长 磁舟 移出 优选 取出 | ||
【主权项】：
1.一种规则六边形六方氮化硼的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：/n（a）将处理过的铜箔放置在石英管中，然后将装有氨硼烷的磁舟放置在石英管的另一端，向石英管中以100-500sccm的速度通入氮气赶气，经过2-5min后，关闭气阀停止通入氮气，然后将放置有铜箔的石英管一端快速升温至800-900℃，煅烧30-45min；/n（b）继续保持上述煅烧温度，打开气体通入阀，同时分别向石英管中通入氮气和氨气，其中，氮气的流量调整为50-250sccm，氨气流量为100-160sccm，之后，调节升温程序，先以5-10℃/min的速度升温至950-1000℃，再以1-5℃/min的速度升温至1010-1050℃，开始对石英管进行程序升温；/n（c）经过程序升温后，达到氮化硼纳米片生长温度后，保持在该温度下生长20-30min，此时，关闭氮气气体通入阀，同时调整氨气气体通入阀，控制氨气流量为20-70sccm；/n（d）生长结束后，关闭氨气气体通入阀，将石英管快速移出加热设备，使生长有氮化硼纳米片的铜箔直接暴露在空气中，待石英管温度降至室温后，取出铜箔，即可得到具有规则的六边形形状的六方氮化硼，厚度在2-5层，六边形的边长为1-4μm。/n
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