[发明专利]一种多极输出阵列式薄型MEMS微推进器

摘要

本发明公开了一种多极输出阵列式薄型MEMS微推进器，属于微推进技术和微机电系统(MEMS)领域，该微推进器采用正面式微推进器和侧面式微推进器相结合的方式。本发明多极输出阵列式薄型MEMS微推进器的上盖片、基底制作完成后，采用键合方法将上盖片、基底组装在一起，最后再和带有励磁线圈的PCB电路板粘合在一起。本发明具体为采用MEMS微加工技术制作的一种利用高频脉冲感应加热，使处于加热盘周围的液体迅速汽化成气体，并在微腔内形成高压，气体在高压的作用下经过喷嘴高速喷出，微推进器获得相反方向的驱动力。该微推进器能够用于微卫星的位置保持、姿态控制和轨道调整等。

主权项

1.一种多极输出阵列式薄型MEMS微推进器，其特征在于：该微推进器采用正面式微推进器和侧面式微推进器相结合的方式；正面式微推进器由上盖片(1)、微流道(2)、正面微喷嘴(3)、加热盘(4)、加热蒸发腔(5)、基底(6)、励磁线圈(8)和PCB电路板(9)组成；上盖片(1)、基底(6)和PCB电路板(9)由上到下顺次布置；所述微流道(2)制作于基底(6)的上表面，微流道(2)与供液系统相连通；所述正面微喷嘴(3)制作在上盖片(1)上，正面微喷嘴(3)是一种贯穿孔，正面微喷嘴(3)形状为先收缩后扩张的拉瓦尔口；所述微流道(2)与加热蒸发腔(5)制作在基底(6)上，且微流道(2)与加热蒸发腔(5)的深度相等且相互连通；所述加热盘(4)制作在加热蒸发腔(5)的上表面的中心；所述励磁线圈(8)制作在PCB电路板(9)上，励磁线圈(8)的形状为多边形或圆形平面螺旋线圈；励磁线圈引线电极I(7)和励磁线圈引线电极II(10)与励磁线圈(8)连接；所述的励磁线圈引线电极I(7)和励磁线圈引线电极II(10)，分别连接交流电源两个输出端，为励磁线圈(8)通入交流电流；侧面式微推进器的加热方式和系统组成与正面式微推进器相同，侧面式微推进器与正面式微推进器不同之处在于侧面微喷嘴(11)制作在侧面式微推进器的基底(6)上，侧面微喷嘴(11)的形状为先收缩后扩张的拉瓦尔口，侧面微喷嘴(11)通过侧面式微推进器的基底(6)侧壁与外界相连通。