[发明专利]一种苯并咪唑基聚醚铜缓蚀剂及其制备方法有效
申请号: | 201810455406.7 | 申请日: | 2018-05-14 |
公开(公告)号: | CN108505048B | 公开(公告)日: | 2019-11-12 |
发明(设计)人: | 周钰明;席小勇;姚清照;宋丽;陈依漪;王甜甜;朱志英 | 申请(专利权)人: | 东南大学 |
主分类号: | C23F11/14 | 分类号: | C23F11/14;C07D235/16 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 柏尚春 |
地址: | 211189 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: |
本发明涉及一种苯并咪唑基聚醚铜缓蚀剂及其制备方法,该铜缓蚀剂是以聚醚羧酸酯与甲氧基聚乙二醇邻苯二胺醚在微波辅助下进行关环缩合反应制得,聚醚羧酸酯是由氨基酸对聚乙二醇单甲醚进行封端制得,甲氧基聚乙二醇邻苯二胺醚是由聚乙二醇单甲醚与4‑甲氧基邻苯二胺进行亲核取代反应制得,该缓蚀剂的结构通式为: |
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搜索关键词: | 铜缓蚀剂 缓蚀剂 甲氧基聚乙二醇 聚乙二醇单甲醚 苯并咪唑基 聚醚羧酸酯 邻苯二胺 聚醚 制备 氨基 腐蚀防护性能 亲核取代反应 甲氧基邻苯 氯化钠溶液 紫铜 苯并咪唑 分子结构 高盐环境 关环缩合 结构通式 微波辅助 氮原子 缓蚀率 聚合度 添加量 铜表面 有效键 氨基酸 二胺 封端 缓蚀 醚基 吸附 酯基 | ||
【主权项】:
1.一种苯并咪唑基聚醚铜缓蚀剂,其特征在于该缓蚀剂是以聚醚羧酸酯与甲氧基聚乙二醇邻苯二胺醚在微波辅助下进行关环缩合反应制得,聚醚羧酸酯是由氨基酸对聚乙二醇单甲醚进行封端制得,甲氧基聚乙二醇邻苯二胺醚是由聚乙二醇单甲醚与4‑甲氧基邻苯二胺进行亲核取代反应制得,该缓蚀剂的结构通式为:
其中:聚合度n为4~50,重复单元m为1或2。
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