[发明专利]一种生产TiN、TiC、TiCN粉体的系统及方法

摘要

本发明公开了一种生产TiN、TiC、TiCN粉体的系统及方法。在流化床内预先加入目标种子粉体，采用惰性气体使其流化，随后在一定温度范围下，气态TiCl4与氮源或(和)碳源气体在流化床内合成TiN、TiC、TiCN粉体。本发明解决了基于TiCl4原料的化学气相沉积工艺中效率低、容易形成涂层而难以形成粉体的问题，提高了制备TiN、TiC、TiCN粉体的效率，并且工艺流程简单，不需要成本高昂的设备，可以实现连续批量化生产TiN、TiC、TiCN粉体，具有良好的经济效益和社会效益。

主权项

1.一种生产TiN、TiC、TiCN粉体的系统，其特征在于，所述系统包括：粉体加料装置(1)、TiCl₄蒸发装置(2)、加热装置(2‑1)、沉积反应流化床(3)、旋风分离装置(4)、高温除尘装置(5)、第一水冷装置(6)、细粉收集装置(7)、第二水冷装置(8)、TiCl₄回收装置(9)、尾气处理装置(10)、粉体收集装置(11)；所述粉体加料装置(1)底部进气口与惰性气体管道通过气阀和管道相连接；所述粉体加料装置(1)底部出料口与所述沉积反应流化床(3)底部的进料口通过料阀和管道相连接；所述TiCl₄蒸发装置(2)配有所述加热装置(2‑1)；所述TiCl₄蒸发装置(2)的进气口与惰性气体管道、氢气管道通过气阀和管道相连接；所述TiCl₄蒸发装置(2)的排气口与所述沉积反应流化床(3)底部进气口通过管道相连接；所述沉积反应流化床(3)底部进气口与惰性气体管道、氮源气体管道、碳源气体管道、氢气管道通过气阀和管道相连接；所述沉积反应流化床(3)上部的排气口与所述旋风分离装置(4)上部的进气口通过管道相连接；所述沉积反应流化床(3)下部的排料口与所述粉体收集装置(11)通过料阀和管道连接；所述旋风分离装置(4)下部的排料口与所述沉积反应流化床(3)下部的进料口相连；所述旋风分离装置(4)上部的排气口与所述高温除尘装置(5)的进料口通过管道连接；所述高温除尘装置(5)的排料口与所述第一水冷装置(6)的进料口通过管道连接；所述高温除尘装置(5)的排气口与所述第二水冷装置(8)的进料口通过管道连接；所述第一水冷装置(6)的排料口与所述细粉收集装置(7)的进料口通过管道连接；所述第二水冷装置(8)的排料口与所述TiCl₄回收装置(9)的进料口通过管道连接；所述第二水冷装置(8)的排气口与所述尾气处理装置(10)的进气口通过管道连接。