[发明专利]一种72对棒多晶硅还原炉在审
| 申请号： | 201810456111.1 | 申请日： | 2018-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN108545745A | 公开（公告）日： | 2018-09-18 |
| 发明（设计）人： | 茅陆荣;陈龙;彭建涛 | 申请（专利权）人： | 上海森松新能源设备有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 上海申浩律师事务所 31280 | 代理人： | 陈开山 |
| 地址： | 201323 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种72对棒多晶硅还原炉，包括有炉体、底盘和电极，还原炉的内部分成热气流层、晶硅生长区及冷流层三个区域，冷流层位于还原炉的底部，其与底盘相接；在底盘设置有氢气喷嘴，通过氢气喷嘴朝还原炉喷射氢气气流形成冷流层；热气流层位于还原炉的顶部；底盘硅粉始终处于流化状态，因此底盘可以始终保持低的黑度系数，而具有银涂层的底盘可以进一步降低底盘黑度系数，进而大幅提升底盘热反射效率，降低还原炉热量损失，实现还原炉的节能运行，有利于国内多晶硅生产厂降低成本、提高效益，增强在国际市场的竞争力。 | ||
| 搜索关键词： | 底盘 还原炉 冷流 多晶硅还原炉 氢气喷嘴 热气流 黑度 节能运行 流化状态 氢气气流 热量损失 多晶硅 热反射 生长区 银涂层 电极 硅粉 晶硅 炉体 喷射 | ||
【主权项】：
1.一种72对棒多晶硅还原炉，包括有炉体、底盘和电极，炉体安装于底盘上，电极位于炉体中并安装于底盘上，底盘上设置有进气口和出气口，硅芯生长于电极上，其特征在于：通过对炉体高度参数及炉体内部温度参数的控制，将该还原炉的内部分成热流层、晶硅生长区及冷流层三个区域；所述热流层位于炉体顶部，冷流层位于炉体底部，晶硅生长区位于热流层和冷流层之间；所述炉体内部还设置有硅芯安装支架。
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