[发明专利]一种多孔式风刀装置在审
| 申请号： | 201810458571.8 | 申请日： | 2018-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN108534539A | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 陈琮岳;简健哲 | 申请（专利权）人： | 安徽宏实自动化装备有限公司 |
| 主分类号： | F26B21/00 | 分类号： | F26B21/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230001 安徽省合肥市经济*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 一种多孔式风刀装置，包括风刀本体，风刀本体为一体成型式结构，风刀本体包括刀身、刀面和连接头，所述刀身为梯形柱状，刀身的梯形上下底面不封口，且内部中空，刀面为矩形板状，连接头为上下两端面不封口的长方体柱腔，刀身的梯形大端底面不封口端与刀面连接一体，刀身的梯形小端上端面不封口端与连接头的柱腔连接一体，刀面与刀身的连接端中部设有均匀水平线性排列的通孔和盲孔，通孔竖直位于连接头的柱腔下方，盲孔分别位于通孔两侧，且一侧盲孔竖直位于刀身一侧内腔上壁下方，另一侧盲孔倾斜指向刀身另一侧内腔侧壁。运用白努利原理，在基板表面造成一诱导流场，引导残留在基板表面及孔内之流体流出，与处理流体置换，实现对孔内的处理。 | ||
| 搜索关键词： | 刀身 连接头 刀面 盲孔 风刀本体 通孔 封口 风刀装置 基板表面 多孔式 封口端 竖直 柱腔 一体成型式 长方体柱 处理流体 矩形板状 均匀水平 内部中空 内腔侧壁 上下底面 上下两端 梯形大端 梯形柱状 线性排列 连接端 上端面 底面 对孔 流场 流体 内腔 上壁 小端 诱导 指向 置换 流出 残留 | ||
【主权项】：
1.一种多孔式风刀装置，其特征是，包括风刀本体(10)，所述风刀本体(10)水平安装在湿式制程设备的挂架上，且风刀本体(10)对称安装在基板两侧，风刀本体(10)为一体成型式结构，风刀本体(10)包括刀身(11)、刀面(12)和连接头(13)，所述刀身(11)为梯形柱状，刀身(11)的梯形上下底面不封口，且内部中空，刀面(12)为矩形板状，连接头(13)为上下两端面不封口的长方体柱腔，刀身(11)的梯形大端底面不封口端与刀面(12)连接一体，刀身(11)的梯形小端上端面不封口端与连接头(13)的柱腔连接一体，刀面(12)与刀身(11)的连接端中部设有均匀水平线性排列的通孔(14)和盲孔(15)，通孔(14)竖直位于连接头(13)的柱腔下方，盲孔(15)分别位于通孔(14)两侧，且一侧盲孔(15)竖直位于刀身(11)一侧内腔上壁下方，另一侧盲孔(15)倾斜指向刀身(11)另一侧内腔侧壁。
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