[发明专利]一种锑烯的制备方法在审
申请号: | 201810459170.4 | 申请日: | 2018-05-15 |
公开(公告)号: | CN108315815A | 公开(公告)日: | 2018-07-24 |
发明(设计)人: | 宿世臣;方一旭;李东颖;凌志聪 | 申请(专利权)人: | 华南师范大学 |
主分类号: | C30B29/02 | 分类号: | C30B29/02;C30B29/64;C30B23/00;B82Y40/00 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 李斌 |
地址: | 510631 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种锑烯的制备方法,包括以下步骤:在小石英试管中放入体积1/3到1/2纯度为99.99%的Sb粉,将二氧化硅衬底放置在石英舟上,然后将小石英试管和石英舟都放入大石英试管中,再将上述大石英试管水平放置在管式炉中,使装有Sb粉的小石英试管位于加热区,放置有二氧化硅衬底的石英舟位于非加热区;将管式炉中的空气全部排净后保持真空泵打开并在管式炉中一边连续通入N2;设定管式炉程序,使管式炉加热到650℃~700℃内某一温度后,保持该温度30min~120min,再关闭管式炉,使大石英试管在管式炉中冷却至室温后取出,得到生长在二氧化硅衬底上的锑烯材料。利用本发明所述方法制备的锑烯具有大尺寸、晶体质量良好的优点,是一种可控、重复性好的制备方法。 | ||
搜索关键词: | 石英试管 管式炉 制备 二氧化硅 石英舟 衬底 管式炉加热 非加热区 加热区 真空泵 放入 可控 冷却 取出 生长 | ||
【主权项】:
1.一种锑烯的制备方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤:S1、清洗石英舟、二氧化硅衬底和大小两种规格的石英试管;S2、在小石英试管中放入体积1/3到1/2纯度为99.99%的Sb粉,将二氧化硅衬底放置在石英舟上;S3、将小石英试管和石英舟都放入大石英试管中,其中石英舟放置在靠近大石英试管底部处,二氧化硅衬底朝上,小石英试管放置在大石英试管靠近管口处,与大石英试管反向放置,小石英试管底部距离大石英试管管口20mm~50mm;S4、将上述大石英试管水平放置在管式炉中,使装有Sb粉的小石英试管位于加热区,放置有二氧化硅衬底的石英舟位于非加热区;S5、在管式炉中通入N2后打开真空泵,把大气压降到0.05Kpa后关闭真空泵,等待N2通入1~2min使管式炉中的N2气压接近大气压后再打开真空泵,反复多次以使管式炉中的空气全部排净,最后保持真空泵打开并在管式炉中一边连续通入N2;S6、设定管式炉程序,使管式炉加热到650℃~700℃内某一温度后,保持该温度30min~120min,再关闭管式炉,使大石英试管在管式炉中冷却至室温后取出,得到生长在二氧化硅衬底上的锑烯材料。
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