[发明专利]一种动态调谐的波导及微波等离子体装置有效
申请号: | 201810462143.2 | 申请日: | 2018-05-15 |
公开(公告)号: | CN108682929B | 公开(公告)日: | 2021-04-16 |
发明(设计)人: | 阮存军;刘静;戴军;孔德胤;李仁杰 | 申请(专利权)人: | 北京航空航天大学 |
主分类号: | H01P3/12 | 分类号: | H01P3/12;H01J65/04 |
代理公司: | 北京睿智保诚专利代理事务所(普通合伙) 11732 | 代理人: | 周新楣 |
地址: | 100191*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明实施例提供了一种动态调谐的波导及微波等离子体装置,包括波导腔体和调节装置,且所述调节装置与所述波导腔体之间可动连接,调节所述调节装置时改变所述波导腔体的场型。通过改变调节装置进入波导腔体内部的距离,能够动态改变特定频率微波在波导腔体内传输时的微波场型和反射系数,并获得最佳的微波耦合与传输效率,使得特定频率微波在波导腔体内传输时的发射损耗最小,同时本发明实施例提供的波导可以应用于各种需要调节电磁波耦合与阻抗匹配的场合,结构简单,易于实现。 | ||
搜索关键词: | 一种 动态 调谐 波导 微波 等离子体 装置 | ||
【主权项】:
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