[发明专利]一种可定性定量分析真空系统中残留物的装置和方法在审
| 申请号： | 201810462151.7 | 申请日： | 2018-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN108362801A | 公开（公告）日： | 2018-08-03 |
| 发明（设计）人： | 李晓旭;肖育 | 申请（专利权）人： | 苏州铭谱源分析仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01N30/02 | 分类号： | G01N30/02;G01N30/72 |
| 代理公司： | 苏州创策知识产权代理有限公司 32322 | 代理人： | 杨阳 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市相城经济技术开*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及真空监测技术领域，尤其涉及一种可定性定量分析真空系统中残留物的装置和方法，包括待测真空系统、真空截止阀、第一和第二真空电磁阀、气体缓冲室、气源、采样泵、色谱仪和质谱仪，所述待测真空系统和气体缓冲室通过真空截止阀实现连通或截止，所述气源和气体缓冲室通过第一真空电磁阀实现气体的连通或截止，所述色谱仪和气体缓冲室通过第二真空电磁阀连通或截止。本发明突破了现有的质谱残留气体分析技术无法分析复杂成分有机残留物的重大缺陷，进而可实现对复杂成分的有机物进行准确的定性和定量分析。通过标准样品实验测试，实验表明，其可对真空系统中含有38种有机化合物的混合气体进行准确的定性和定量分析。 | ||
| 搜索关键词： | 真空系统 气体缓冲室 定量分析 真空电磁阀 定性 连通 真空截止阀 色谱仪 截止 气源 残留气体分析 有机残留物 有机化合物 标准样品 混合气体 实验测试 真空监测 重大缺陷 采样泵 有机物 质谱仪 质谱 分析 | ||
【主权项】：
1.一种可定性定量分析真空系统中残留物的装置，其特征在于，包括待测真空系统、真空截止阀、第一和第二真空电磁阀、气体缓冲室、气源、采样泵、色谱仪和质谱仪，所述待测真空系统和气体缓冲室通过真空截止阀实现连通或截止，所述气源和气体缓冲室通过第一真空电磁阀实现气体的连通或截止，所述色谱仪和气体缓冲室通过第二真空电磁阀连通或截止。
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