[发明专利]一种新型可变焦数字全息显微镜在审
申请号: | 201810463142.X | 申请日: | 2018-05-15 |
公开(公告)号: | CN108415230A | 公开(公告)日: | 2018-08-17 |
发明(设计)人: | 张旭辉;许之敏 | 申请(专利权)人: | 许之敏 |
主分类号: | G03H1/00 | 分类号: | G03H1/00;G03H1/04 |
代理公司: | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人: | 刘晓晖 |
地址: | 518000 广东省深圳市南山*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种新型可变焦数字全息显微镜。光源发出的线偏振光经二分之一波片和偏振分光棱镜后分为物光束和参考光束,物光束经过反射镜反射后依次经过非偏振分光棱镜、透镜和物镜后平行出射于样品表面,样品的反射光经过物镜和透镜后仍为平面波,经非偏振分光棱镜反射后与参考光束在相机表面干涉;参考光束依次经四分之一波片透射、第一平面镜反射、四分之一波片再次透射、偏振分光棱镜透射、第二平面镜反射和非偏振分光棱镜透射后与物光束在相机表面干涉成全息图像。本发明利用移动物镜前透镜而不需移动物镜位置的方式获取全息图像,使系统得到简化。属于数字全息成像技术领域,可用于三维实时形貌测量。 | ||
搜索关键词: | 透射 参考光束 分光棱镜 非偏振 物光束 数字全息显微镜 透镜 偏振分光棱镜 四分之一波片 平面镜反射 表面干涉 全息图像 移动物镜 可变焦 物镜 相机 三维实时形貌测量 成像技术领域 二分之一波片 反射镜反射 方式获取 数字全息 线偏振光 样品表面 反射光 平面波 前透镜 出射 可用 反射 光源 平行 | ||
【主权项】:
1.一种新型可变焦数字全息显微镜,其特征在于:反射式数字全息显微镜的光源发出的线偏振光经二分之一波片和偏振分光棱镜后分为两束偏振态垂直的光波,其中一束透射光束作为物光束,另一束经偏振分光棱镜反射为参考光束;物光束经过反射镜反射后依次经过非偏振分光棱镜、透镜和物镜后平行出射于样品表面,样品的反射光经过物镜和透镜后仍为平面波,经非偏振分光棱镜反射后与参考光束在相机表面干涉;参考光束依次经四分之一波片透射、第一平面镜反射、四分之一波片再次透射、偏振分光棱镜透射、第二平面镜反射和非偏振分光棱镜透射后与物光束在相机表面干涉成全息图像。
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