[发明专利]一种用于管状靶材制备的内旋转高温烧结装置在审
| 申请号： | 201810466187.2 | 申请日： | 2018-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN108826961A | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 舒永春;吴敦元;陈杰;孙本双;曾学云 | 申请（专利权）人： | 郑州大学 |
| 主分类号： | F27B5/04 | 分类号： | F27B5/04;F27B5/06;F27B5/08;F27D1/00;F27D1/06;F27D3/12;F27D99/00 |
| 代理公司： | 北京卫智畅科专利代理事务所(普通合伙) 11557 | 代理人： | 唐维铁 |
| 地址： | 450001 河南省郑*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于管状靶材制备的内旋转高温烧结装置，该烧结装置包括烧结装置本体，该烧结装置本体包括炉膛上盖、炉膛本体和炉膛下盖；承烧台，设置在炉膛下盖上，用于放置管状靶材；旋转组件，用于旋转承烧台，该旋转组件可以为磁旋转组件。内旋转高温烧结装置通过管状靶材的旋转，实现了管状靶材烧结过程中加热温度的均匀性，减小了大尺寸管状靶材在加热过程中受热不均的问题，能够制备出收缩均匀、烧结不形变、不开裂的大尺寸管状靶材。 | ||
| 搜索关键词： | 管状靶材 炉膛 高温烧结装置 烧结装置 内旋转 制备 旋转组件 下盖 加热过程 炉膛本体 烧结过程 受热不均 烧结 磁旋转 均匀性 形变 加热 减小 上盖 收缩 | ||
【主权项】：
1.一种用于管状靶材制备的内旋转高温烧结装置，其特征在于，该烧结装置包括：烧结装置本体，所述烧结装置本体包括炉膛上盖、炉膛本体和炉膛下盖，其中所述炉膛上盖与所述炉膛本体的上部紧固连接，所述炉膛下盖与所述炉膛本体的下部可活动连接；承烧台，设置在所述炉膛下盖上，用于放置管状靶材；旋转组件，用于旋转所述承烧台。
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