[发明专利]一种高效高温固化碳化硅籽晶的工艺有效
| 申请号： | 201810466760.X | 申请日： | 2018-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN108468089B | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 陈华荣;张洁;廖弘基;蔡如腾 | 申请（专利权）人： | 福建北电新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B23/00 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 362211 福建省泉州*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种高效高温固化碳化硅籽晶的工艺，采用具有盖子、坩埚盖、坩埚、底盘、底盘测温孔、通气孔的坩埚治具进行碳化硅籽晶的高温固化；通气孔的每两个相邻气孔形成倒Z字型，两孔中轴分别于水平线成5°～15°倾斜，在坩埚壁中心交汇导通；包括以下步骤：用富碳的粘剂将碳化硅籽晶粘贴至坩埚盖上，将坩埚和粘贴完籽晶的坩埚盖依次从底盘开始叠装，盖上盖子；然后将坩埚治具放入高温炉中，对坩埚治具抽真空并向坩埚治具中充入氩气，坩埚治具通过水冷式感应线圈或电阻进行加热，将碳胶石墨化，完成高效高温固化碳化硅籽晶。本发明高效高温固化碳化硅籽晶的工艺使得籽晶贴合良好，固化完全，缺陷少，后续晶体生长质量高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高效 高温 固化 碳化硅 籽晶 工艺 | ||
【主权项】：
1.一种高效高温固化碳化硅籽晶的工艺，其特征在于，采用具有盖子、坩埚盖、坩埚、底盘、底盘测温孔、通气孔的坩埚治具进行碳化硅籽晶的高温固化；所述通气孔的每两个相邻气孔形成倒Z字型，两孔中轴分别于水平线成5°～15°倾斜，内外两孔中轴相距1/4气孔直径，在坩埚壁中心交汇重叠处交汇导通，其中内孔为高位置；包括以下步骤：步骤S1，用富碳的粘剂将碳化硅籽晶粘贴至坩埚盖上，将坩埚和粘贴完籽晶的坩埚盖依次从20mm～50mm底盘开始叠装，盖上盖子；步骤S2，然后将经步骤S1处理的坩埚治具放入高温炉中，对坩埚治具抽真空至压力5x10‑2mbar以下并向坩埚治具中充入氩气至压力在300mbar～1000mbar，坩埚治具通过水冷式感应线圈或电阻进行加热，将碳胶石墨化，完成高效高温固化碳化硅籽晶。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于福建北电新材料科技有限公司，未经福建北电新材料科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810466760.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
